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■展會名稱
SEMI-e 2024第六屆深圳國際半導體展(以下簡稱:深圳半導體展)
■展會日期
202 4 年 6 月 26 日 – 28 日
■展館地點
中國 · 深圳國際會展中心(新館)
■展位號
8號館8I45

2024年6月26至28日,深圳半導體展將在中國·深圳國際會展中心(新館)舉辦。
隨著數字化轉型加速,半導體市場正經曆空前增長,特別是在3C消費電子、物聯網(IoT)、人工智能(AI)、汽車電子、5G通信、雲計算等關鍵技術領域,致使半導體領域用戶對高性能、低功耗、高(gao)速(su)數(shu)據(ju)處(chu)理(li)和(he)精(jing)度(du)高(gao)的(de)半(ban)導(dao)體(ti)產(chan)品(pin)需(xu)求(qiu)急(ji)劇(ju)增(zeng)加(jia)。麵(mian)對(dui)這(zhe)些(xie)挑(tiao)戰(zhan)和(he)機(ji)遇(yu),半(ban)導(dao)體(ti)製(zhi)造(zao)企(qi)業(ye)正(zheng)快(kuai)速(su)創(chuang)新(xin),以(yi)滿(man)足(zu)更(geng)複(fu)雜(za)和(he)高(gao)度(du)集(ji)成(cheng)電(dian)子(zi)係(xi)統(tong)的(de)需(xu)求(qiu)。
探討的關鍵議題
在此次展會上,正運動技術將展出一係列高性能運動控製產品,包括VPLC7係列機器視覺運動控製一體機、超高速PCIe EtherCAT實時運動控製卡和開放式激光振鏡運動控製器等。
我們將通過現場應用DEMO,直zhi觀guan展zhan示shi如ru何he優you化hua半ban導dao體ti設she備bei的de加jia工gong工gong藝yi流liu程cheng,達da到dao符fu合he行xing業ye標biao準zhun並bing滿man足zu實shi際ji應ying用yong需xu求qiu,以yi幫bang助zhu客ke戶hu提ti升sheng生sheng產chan效xiao率lv和he產chan品pin質zhi量liang,實shi現xian了le客ke戶hu端duan的de穩wen定ding量liang產chan,並bing優you化hua成cheng本ben。
看點一:半導體設備運動控製解決方案應用分享
晶圓劃片機運動控製解決方案

網絡型運動控製卡ECI2418B等
? 劃片精度穩定在2~3μm內;
? 支持自適應速度前瞻功能,讓切割軌跡更柔順平滑,切割速度快精度高,最大限度地減少邊緣碎裂;
? 測高係統配合高速鎖存信號,實時反饋控製刀輪的Z軸觸發急停的方式做停止並回退,以避免對材料造成過度切割或損害。
通過ECI2418B等多個組件的配合,在極具性價比方案的前提下,實現μm級的劃片精度,提高生產效率與品質。
晶圓搬運機械手運動控製解決方案

VPLC7係列機器視覺運動控製一體機
? 支持平麵關節型機械手(SCARA)和徑向直線運動(R.θ)型機械手控製,適用於各種晶圓機械手搬運場景;
? 支持點位控製,從而實現晶圓搬運機械手的搬運和放置操作;
? 精準力控,實現高精度控製夾爪的夾持力度,防止晶圓損壞或鬆動;
? 支持動態變速,可以有效平衡晶圓搬運機械手移動速度和精度,提高生產效率;
? 視覺飛拍功能,可快速對晶圓進行瞬時觸發相機拍攝和照明。
通過VPLC7係列機器視覺運動控製一體機,配合運動控製實時內核MotionRT7與多個組件的協同作業,實現核間交互,指令調用速度比傳統的PCI/PCIe快10倍,整體設備產能可提升10%左右,實現高速高精的晶圓機械手傳輸控製。
半導體曝光機UVW運動控製解決方案

PCIe EtherCAT總線控製卡PCIE464M
? 支持UVW控製算法,配合高精度視覺采集係統進行視覺對位糾偏;
? 支持多軸同步控製,能夠處理更複雜的曝光加工工藝;
? 最快支持EtherCAT控製周期125μm;
? 采用標準PCIe總線接口,數據采集快。
通過PCIE464M高速高精,超高速PCIe EtherCAT控製卡,配合UVW平台等多個組件的協同作業,進行高速高精的對準和曝光,減少因定位誤差導致的廢品率,降低生產成本,提高產出質量。
半導體轉塔測試分選機運動控製解決方案

PCIe EtherCAT總線控製卡XPCIE1032H
? 高速穩定測試分選,產能可達:53 K/H;
? 高速的運動模式切換:可快速切換位置模式和速度模式,實現高精度的力控;
? EtherCAT同步周期為250μm,可控製多個吸嘴獨立上下高速運作,提升效率;
? 用戶可以根據方案需要自主分配IO信號和靈活擴展控製軸,滿足測試單元每種工藝需求,實現個性化定製;
? 與傳統PC+運動控製卡方案相比,XPCIE1032H方案穩定性更高,交互速率更快,提升速度可達10%。
通過XPCIE1032H高速高精,超高速PCIe EtherCAT控製卡,配合多個組件的協同作業,可確保多個工序在旋轉周期內依次對半導體進行測試、檢查、精加工、收料、編帶等,使整個測試分選過程全天候連貫、高效穩定地運行,提高測試吞吐量。
半導體激光打標/焊接運動控製解決方案

ZMC408SCAN-V22開放式激光振鏡控製器
? 靈活兼容多種半導體材料,用戶可通過編輯非接觸式激光打標/焊接工藝,調整激光能量和脈衝持續時間;
? 提供專用激光工藝API函數,支持多種圖形處理,提升加工精度與效率,簡化設計至生產流程;
? 振鏡軸與伺服軸聯動插補,實現精準激光束定位和動態跟蹤,進行更精細的激光振鏡打標/焊接;
? 高精度PSO,等間距輸出,解決傳統激光加工在倒角激光加工能量輸出不恒定的問題,提高激光振鏡打標/焊接質量;
? 提供直觀易用的激光調試軟件,操作員輕鬆設定打標激光參數。
通過ZMC408SCAN-V22開放式激光振鏡控製器,配合多個組件協同作業,可大幅提升半導體激光打標/焊接的一致性和生產效率,並降低操作成本,靈活適應新的打標/焊接項目需求,以及有效降低多套控製硬件成本。
看點二:高性能運動控製產品分享
PCIE464M–高速高精,超高速PCIe EtherCAT控製卡

基於PCIe的EtherCAT總線運動控製卡,支持多軸同步控製,最快控製周期為100 μm 。集成高速IO及多項實時運動控製功能,如高速色標鎖存、PWM、多維PSO、視覺飛拍、速度前瞻等,可配合第三方圖像處理工控機或PC,無需額外配置IO數據采集卡和PLC,即可實現IPC形態的機器視覺運動控製一體機,簡化硬件架構,節省成本,軟硬件一體化。
VPLC7係列機器視覺運動控製一體機

基於x86架構的EtherCAT總zong線xian視shi覺jiao運yun動dong控kong製zhi器qi,支zhi持chi脫tuo機ji運yun行xing,內nei置zhi豐feng富fu的de視shi覺jiao和he運yun動dong控kong製zhi功gong能neng,大da幅fu簡jian化hua配pei置zhi流liu程cheng。核he內nei數shu據ju交jiao互hu速su度du快kuai,顯xian著zhu降jiang低di時shi間jian和he成cheng本ben投tou入ru,提ti高gao項xiang目mu實shi施shi效xiao率lv。安an裝zhuang與yu拆chai卸xie過guo程cheng便bian捷jie,占zhan地di空kong間jian小xiao,能neng與yu其qi他ta控kong製zhi單dan元yuan部bu件jian(如伺服驅動器、傳感器等)和 MES係統 無縫集成。提供一體化開放式IPC形態的實時軟控製器/軟PLC集成的視覺+運動控製解決方案。
ZMC408SCAN–V22開放式激光振鏡控製器

基於ZMC408SCAN-V22開放式激光振鏡控製解決方案主要應用於高速標刻、激光清洗、精密切割、jingmihanjiedengfeijiechushijiguangjiagongguochengzhong,tongguogaosuzhendongdejingpianlaigaibianjiguangdefangxiang,shixiangaosugaojingdejiguangjiagong。guangfanyingyongyugaosugaojingdejiguangkongzhi+振鏡控製+運動控製的激光加工場合。
我們誠摯邀請您蒞臨我們的展位 (8號館8I45) 。womendezhuanyetuanduijiangxiangxijieshaochanpintedianheyingyonganli,qidaiyuninshenrujiaoliuhezuo,gongtongfunengbandaotizhinengzhizao,yitongtantaoruhetishengzhizaoxiaolvheshichangjingzhengli。

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