|
壓阻式壓力傳感器工作原理：當(dang)傳(chuan)感(gan)器(qi)處(chu)在(zai)壓(ya)力(li)介(jie)質(zhi)中(zhong)時(shi)，介(jie)質(zhi)壓(ya)力(li)作(zuo)用(yong)於(yu)波(bo)紋(wen)膜(mo)片(pian)上(shang)，其(qi)中(zhong)的(de)矽(gui)油(you)受(shou)壓(ya)，矽(gui)油(you)將(jiang)膜(mo)片(pian)的(de)壓(ya)力(li)傳(chuan)感(gan)給(gei)半(ban)導(dao)體(ti)芯(xin)體(ti)。受(shou)壓(ya)後(hou)其(qi)電(dian)阻(zu)值(zhi)發(fa)生(sheng)變(bian)化(hua)，電(dian)阻(zu)信(xin)號(hao)通(tong)過(guo)引(yin)線(xian)引(yin)出(chu)。不(bu)鏽(xiu)鋼(gang)波(bo)紋(wen)膜(mo)片(pian)殼(ke)體(ti)感(gan)受(shou)壓(ya)力(li)並(bing)保(bao)護(hu)芯(xin)體(ti)，因(yin)而(er)壓(ya)阻(zu)式(shi)壓(ya)力(li)傳(chuan)感(gan)器(qi)能(neng)在(zai)腐(fu)蝕(shi)性(xing)的(de)介(jie)質(zhi)中(zhong)感(gan)應(ying)壓(ya)力(li)信(xin)號(hao)。
壓阻式壓力傳感器一般通過引線接入惠斯登電橋中。平時敏感芯體沒有外加壓力作用，電橋處於平衡狀態（稱為零位），當(dang)傳(chuan)感(gan)器(qi)受(shou)壓(ya)後(hou)芯(xin)片(pian)電(dian)阻(zu)發(fa)生(sheng)變(bian)化(hua)，電(dian)橋(qiao)將(jiang)失(shi)去(qu)平(ping)衡(heng)。若(ruo)給(gei)電(dian)橋(qiao)加(jia)一(yi)個(ge)恒(heng)定(ding)電(dian)流(liu)或(huo)電(dian)壓(ya)電(dian)源(yuan)，電(dian)橋(qiao)將(jiang)輸(shu)出(chu)與(yu)壓(ya)力(li)對(dui)應(ying)的(de)電(dian)壓(ya)信(xin)號(hao)，這(zhe)樣(yang)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)電(dian)阻(zu)變(bian)化(hua)通(tong)過(guo)電(dian)橋(qiao)轉(zhuan)換(huan)成(cheng)壓(ya)力(li)信(xin)號(hao)輸(shu)出(chu)。出(chu)現(xian)在(zai)大(da)部(bu)分(fen)壓(ya)力(li)傳(chuan)感(gan)器(qi)用(yong)製(zhi)造(zao)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)的(de)方(fang)法(fa)，形(xing)成(cheng)四(si)個(ge)電(dian)阻(zu)值(zhi)相(xiang)等(deng)的(de)電(dian)阻(zu)條(tiao)，並(bing)將(jiang)它(ta)們(men)連(lian)接(jie)刻(ke)製(zhi)成(cheng)惠(hui)斯(si)登(deng)電(dian)橋(qiao)。惠(hui)斯(si)登(deng)電(dian)橋(qiao)采(cai)用(yong)恒(heng)流(liu)供(gong)電(dian)，這(zhe)樣(yang)電(dian)橋(qiao)的(de)輸(shu)出(chu)不(bu)受(shou)溫(wen)度(du)的(de)影(ying)響(xiang)，惠(hui)斯(si)登(deng)電(dian)橋(qiao)檢(jian)測(ce)出(chu)電(dian)阻(zu)值(zhi)的(de)變(bian)化(hua)，經(jing)過(guo)差(cha)分(fen)一(yi)化(hua)放(fang)大(da)器(qi)，輸(shu)出(chu)放(fang)大(da)器(qi)放(fang)大(da)後(hou)，再(zai)經(jing)過(guo)電(dian)壓(ya)電(dian)流(liu)的(de)轉(zhuan)換(huan)，變(bian)換(huan)成(cheng)相(xiang)應(ying)的(de)電(dian)流(liu)信(xin)號(hao)，該(gai)電(dian)流(liu)信(xin)號(hao)通(tong)過(guo)非(fei)線(xian)性(xing)校(xiao)正(zheng)環(huan)路(lu)的(de)補(bu)償(chang)，即(ji)產(chan)生(sheng)了(le)輸(shu)入(ru)電(dian)壓(ya)成(cheng)線(xian)性(xing)對(dui)應(ying)關(guan)係(xi)的(de)4～20mA的標準輸出信號。
為減小溫度變化對芯體電阻值的影響，提高測量精度，壓力傳感器都采用溫度補償措施使其零點漂移、靈敏度、線性度、穩定性等技術指標保持較高水平。
|
