MEMS壓力傳感器，在汽車
、工業
、醫yi療liao等deng領ling域yu有you著zhe廣guang泛fan的de應ying用yong。但dan是shi在zai應ying用yong過guo程cheng中zhong，受shou到dao幹gan擾rao因yin素su的de影ying響xiang會hui出chu現xian故gu障zhang問wen題ti。我wo們men需xu要yao及ji時shi的de找zhao出chu故gu障zhang原yuan因yin及ji其qi解jie決jue方fang法fa，否fou則ze會hui影ying響xiang生sheng產chan測ce量liang結jie果guo有you影ying響xiang。下xia麵mian小xiao編bian就jiu為wei大da家jia介jie紹shaoMEMS壓力傳感器的故障原因及解決方法

　　MEMS壓力傳感器的故障檢修由於其采用了微處理器程序化設計

，往往在顯示屏上直接顯現出錯信息。如：

　　一、UND RNG表示正常計算的結果比校驗的零位大2%以下。發生這種情況往往是：

　　1

、低範圍輸出：正確輸入條件;

　　2
、零位校驗壞：重新校驗量程;

　　3
、傳感器故障或損壞，替換傳感器;

　　二、OVER RNG表示正常計算的結果比校驗量程大2%以上。原因分析及檢修方法：

　　1、過量程輸入：正確輸入條件。

　　2、量程校驗壞:重新校驗量程。

　　3、傳感器故障或損壞:替換傳感器;

　　三
、BAD SPAN在操作CAL URV期間，導致超出範圍值。原因分析及檢修方法：

　　1
、在操作CAL URV期間應用的壓力太低。

　　2、不規則校驗的建立。

　　四、BAD IN1正常壓力輸入超出極限，原因分析及檢修方法：

　　1、過範圍或低範圍輸入：正確輸入條件;

　　2、校驗壞：重新校驗變送器。

　　3、傳感器故障或損壞：替換傳感器。

　　五、BAD ZERO在操作ZERO、CAL LRV或EXTERNAL ZERO期間，導致超出範圍值，原因分析及檢修方法：

　　1、在操作期間應用壓力太高。

　　2
、不規則校驗的建立。