MEMS壓力傳感器，在汽車、工業、醫(yi)療(liao)等(deng)領(ling)域(yu)有(you)著(zhe)廣(guang)泛(fan)的(de)應(ying)用(yong)。但(dan)是(shi)在(zai)應(ying)用(yong)過(guo)程(cheng)中(zhong)
，受(shou)到(dao)幹(gan)擾(rao)因(yin)素(su)的(de)影(ying)響(xiang)會(hui)出(chu)現(xian)故(gu)障(zhang)問(wen)題(ti)。我(wo)們(men)需(xu)要(yao)及(ji)時(shi)的(de)找(zhao)出(chu)故(gu)障(zhang)原(yuan)因(yin)及(ji)其(qi)解(jie)決(jue)方(fang)法(fa)，否(fou)則(ze)會(hui)影(ying)響(xiang)生(sheng)產(chan)測(ce)量(liang)結(jie)果(guo)有(you)影(ying)響(xiang)。下(xia)麵(mian)小(xiao)編(bian)就(jiu)為(wei)大(da)家(jia)介(jie)紹(shao)MEMS壓力傳感器的故障原因及解決方法

MEMS壓力傳感器的故障檢修由於其采用了微處理器程序化設計，往往在顯示屏上直接顯現出錯信息。如：

一、UND RNG表示正常計算的結果比校驗的零位大2%以下。發生這種情況往往是：

1
、低範圍輸出：正確輸入條件;

2

、零位校驗壞：重新校驗量程;

3、傳感器故障或損壞

，替換傳感器;

二
、OVER RNG表示正常計算的結果比校驗量程大2%以上。原因分析及檢修方法：

1、過量程輸入：正確輸入條件。

2
、量程校驗壞:重新校驗量程。

3、傳感器故障或損壞:替換傳感器;

三、BAD SPAN在操作CAL URV期間
，導致超出範圍值。原因分析及檢修方法：

1、在操作CAL URV期間應用的壓力太低。

2、不規則校驗的建立。

四、BAD IN1正常壓力輸入超出極限

，原因分析及檢修方法：

1、過範圍或低範圍輸入：正確輸入條件;

2、校驗壞：重新校驗變送器。

3
、傳感器故障或損壞：替換傳感器。

五、BAD ZERO在操作ZERO
、CAL LRV或EXTERNAL ZERO期間，導致超出範圍值
，原因分析及檢修方法：

1、在操作期間應用壓力太高。

2、不規則校驗的建立。