|
現目前傳感器隨著微型化發展，使原本笨重的裝置變得小，運行到各種行業內。矽微型壓力傳感器是近年來發展較快的一種傳感器，在汽車工業和醫療保健領域較為常見。
矽(gui)微(wei)型(xing)壓(ya)力(li)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)特(te)點(dian)是(shi)體(ti)積(ji)小(xiao)，重(zhong)量(liang)輕(qing)，沒(mei)有(you)活(huo)動(dong)部(bu)件(jian)，可(ke)靠(kao)性(xing)高(gao)，又(you)能(neng)大(da)規(gui)模(mo)生(sheng)產(chan)該(gai)傳(chuan)感(gan)器(qi)，所(suo)以(yi)造(zao)價(jia)低(di)。高(gao)可(ke)靠(kao)性(xing)，低(di)成(cheng)本(ben)對(dui)於(yu)汽(qi)車(che)工(gong)業(ye)的(de)要(yao)求(qiu)可(ke)以(yi)說(shuo)是(shi)非(fei)常(chang)適(shi)合(he)的(de)，因(yin)此(ci)在(zai)汽(qi)車(che)工(gong)業(ye)中(zhong)迅(xun)速(su)擴(kuo)展(zhan)了(le)它(ta)的(de)應(ying)用(yong)領(ling)域(yu)。如(ru)自(zi)動(dong)刹(sha)車(che)係(xi)統(tong)的(de)壓(ya)車(che)麵(mian)壓(ya)力(li)，輪(lun)胎(tai)壓(ya)力(li)，氣(qi)囊(nang)壓(ya)力(li)，傳(chuan)動(dong)係(xi)統(tong)流(liu)體(ti)壓(ya)力(li)，注(zhu)入(ru)係(xi)統(tong)流(liu)體(ti)壓(ya)力(li)，注(zhu)入(ru)燃(ran)料(liao)壓(ya)力(li)，發(fa)動(dong)機(ji)機(ji)油(you)壓(ya)力(li)。進(jin)氣(qi)管(guan)道(dao)壓(ya)力(li)都(dou)有(you)矽(gui)微(wei)型(xing)壓(ya)力(li)傳(chuan)感(gan)器(qi)額(e)用(yong)武(wu)之(zhi)地(di)。
LUCASNOVASENSORgongsishenzhicaiyongweijixiejiagongjishukaifaleyizhongnengzhijiemairuluntaideyalichuanganqi。tanengzaiqicheluntaiyalihendihuoluntaizaipaoqishixiangsijibaojing。quanshijieqichemeiniandeshengchanlianggaodajiqianwanliang，yincizheshiyigejiyouqiantudeshichang。
矽微型壓力傳感器在醫療保健領域裏的最大應用產品是血壓監視器。據稱一些大的醫療機械製造上每年要使用近500萬(wan)隻(zhi)壓(ya)力(li)傳(chuan)感(gan)器(qi)。此(ci)外(wai)，如(ru)婦(fu)女(nv)難(nan)產(chan)時(shi)監(jian)控(kong)子(zi)宮(gong)壓(ya)力(li)用(yong)的(de)矽(gui)微(wei)型(xing)壓(ya)力(li)傳(chuan)感(gan)器(qi)，靜(jing)脈(mai)注(zhu)射(she)監(jian)控(kong)藥(yao)液(ye)流(liu)動(dong)的(de)傳(chuan)感(gan)器(qi)等(deng)都(dou)是(shi)有(you)相(xiang)當(dang)數(shu)量(liang)的(de)市(shi)場(chang)需(xu)求(qiu)。其(qi)他(ta)許(xu)多(duo)醫(yi)療(liao)保(bao)健(jian)方(fang)麵(mian)的(de)應(ying)用(yong)也(ye)正(zheng)在(zai)不(bu)斷(duan)開(kai)發(fa)中(zhong)。
矽微型壓力傳感器基本上分成兩類：電dian容rong式shi和he壓ya阻zu式shi。電dian容rong式shi的de壓ya力li傳chuan感gan器qi包bao括kuo一yi個ge薄bo膜mo，它ta作zuo為wei可ke變bian空kong氣qi電dian容rong器qi的de一yi個ge極ji板ban，當dang薄bo膜mo上shang承cheng受shou壓ya力li時shi，薄bo膜mo產chan生sheng位wei移yi，從cong而er改gai變bian電dian容rong值zhi，利li用yong這zhe種zhong變bian化hua經jing過guo相xiang應ying的de電dian路lu處chu理li，就jiu可ke得de到dao壓ya力li值zhi。壓ya阻zu式shi傳chuan感gan器qi使shi用yong矽gui材cai料liao承cheng受shou壓ya力li時shi會hui產chan生sheng電dian阻zu變bian化hua的de原yuan理li製zhi成cheng，一yi般ban將jiang4個矽材料的應變電阻構成惠斯通電橋來測量壓力。
|
