|
雙麵接觸式電容壓力傳感器是shi一yi種zhong常chang用yong的de壓ya力li傳chuan感gan器qi，在zai多duo個ge行xing業ye中zhong都dou有you一yi定ding的de應ying用yong。雙shuang麵mian接jie觸chu式shi電dian容rong壓ya力li傳chuan感gan器qi在zai使shi用yong的de時shi候hou需xu要yao對dui於yu它ta的de知zhi識shi都dou有you所suo了le解jie，這zhe樣yang在zai使shi用yong的de過guo程cheng中zhong才cai會hui更geng加jia便bian利li。今jin天tian小xiao編bian就jiu來lai為wei大da家jia詳xiang細xi介jie紹shao一yi下xia雙shuang麵mian接jie觸chu式shi電dian容rong壓ya力li傳chuan感gan器qi，希xi望wang可ke以yi幫bang助zhu到dao大da家jia。
雙麵接觸式電容壓力傳感器有4個工作區，第Ⅰ區qu是shi正zheng常chang區qu，梁liang未wei接jie觸chu到dao襯chen底di上shang的de絕jue緣yuan層ceng，當dang傳chuan感gan器qi工gong作zuo在zai這zhe一yi段duan時shi，接jie觸chu式shi電dian容rong壓ya力li傳chuan感gan器qi與yu傳chuan統tong的de矽gui壓ya力li傳chuan感gan器qi一yi樣yang。當dang梁liang快kuai要yao接jie近jin接jie觸chu點dian的de時shi候hou，傳chuan感gan器qi單dan位wei麵mian積ji上shang受shou到dao的de壓ya力li與yu產chan生sheng的de電dian容rong呈cheng非fei線xian性xing關guan係xi。第diⅡ區是過渡區，梁開始接觸到襯底上的絕緣層，C-p曲線呈非線性關係，電容從梁未接觸到襯底到開始接觸襯底轉變。第Ⅲ區是線性區，梁與襯底上的絕緣層開始有效接觸，而且傳感器的電容將隨著壓力的增加而線性增大。第Ⅳ區是飽和區C-p曲線略呈非線性關係，隨著壓力的繼續增加，非線性將更明顯。
雙麵接觸式電容壓力傳感器的電容由兩部分組成：一(yi)部(bu)分(fen)為(wei)梁(liang)受(shou)壓(ya)後(hou)，尚(shang)未(wei)接(jie)觸(chu)到(dao)襯(chen)底(di)上(shang)的(de)絕(jue)緣(yuan)層(ceng)時(shi)形(xing)成(cheng)的(de)電(dian)容(rong)，此(ci)電(dian)容(rong)類(lei)似(si)於(yu)常(chang)規(gui)的(de)電(dian)容(rong)壓(ya)力(li)傳(chuan)感(gan)器(qi)，這(zhe)一(yi)部(bu)分(fen)隻(zhi)占(zhan)接(jie)觸(chu)式(shi)電(dian)容(rong)壓(ya)力(li)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)電(dian)容(rong)量(liang)的(de)很(hen)小(xiao)一(yi)部(bu)分(fen);另ling一yi部bu分fen是shi梁liang接jie觸chu到dao襯chen底di後hou形xing成cheng的de電dian容rong，這zhe部bu分fen電dian容rong量liang才cai是shi需xu要yao的de電dian容rong量liang，而er且qie它ta占zhan主zhu導dao地di位wei，較jiao多duo采cai用yong的de是shi國guo產chan品pin牌pai電dian容rong，如ru三san環huan電dian容rong、風華電容，也可選擇台企電容巨頭——YAGEO電容(即國巨電容)作為所選電容。
dangyalizengjiashi，liangyuchendidejiechumianjizengjia，tongshiliangyuchendidefeijiechubufenjianshao。gangkaishi，dianrongzhuyaoyoufeijiechubufentigong，suizheyalidezengjia，liangkaishijiechuchendidejueyuancenghou，feijiechubufentigongdedianrongzhujianjianshao，erjiechubufentigongdedianrongyujiechumianjijiangchengxianxingzengjia。youyujueyuancengfeichangbo，yincidangliangkaishiyuchendishangdejueyuancengjiechuhou，jiechumianjisuotigongdedianrongjiangzhanzhudaodiwei。
雙麵接觸式電容壓力傳感器由3個矽晶片(其中有兩個晶片B是一樣的)用矽熔融法進行鍵合，先把晶片A正反兩麵腐蝕兩個同樣大小的溝槽來作為傳感器的真空腔，然後在這兩個大溝槽上澱積一層二氧化矽作為絕緣層，同時把晶片A作為雙麵接觸式電容壓力傳感器的公共下電極，接著把兩片用濃的固態硼擴散好的晶體B用熔融鍵合的辦法鍵合在晶片A的正反兩麵，用離子刻蝕法刻蝕掉晶片B最外層的重摻雜層，緊接著用自停止腐蝕法去掉輕摻雜層，得到最裏麵的重摻雜層作為傳感器的上電極。對於晶片A和B，可以采用圓形、方形、矩形膜，本次設計采用圓形膜。
|
