MEMS壓力傳感器是一種薄膜元件，受到壓力時變形。可以利用應變儀(壓阻型感測)來(lai)測(ce)量(liang)這(zhe)種(zhong)形(xing)變(bian)，也(ye)可(ke)以(yi)通(tong)過(guo)電(dian)容(rong)感(gan)測(ce)兩(liang)個(ge)麵(mian)之(zhi)間(jian)距(ju)離(li)的(de)變(bian)化(hua)來(lai)加(jia)以(yi)測(ce)量(liang)。這(zhe)兩(liang)種(zhong)方(fang)法(fa)都(dou)很(hen)流(liu)行(xing)，輪(lun)胎(tai)壓(ya)力(li)監(jian)測(ce)係(xi)統(tong)使(shi)用(yong)比(bi)較(jiao)結(jie)實(shi)的(de)壓(ya)阻(zu)方(fang)法(fa)。

　　汽車產業仍然是MEMS壓力傳感器的最大應用領域，占其銷售額的72%
，其次是醫療電子占12%
，工業領域占10%
，消費電子與軍用航空占據其餘的6%市場。

　　zaiqichelingyu，yinqingguanlishiqizhuyaoyingyong，baokuoqiyoufadongjizhongdeqiguankongqiyalichuanganqihechaiyouchezhongdegongguiyalichuanganqi，youqishizaiouzhou。weilegaishanranshaoqingkuang
，youxiezuzhiyezaiyanjiukeyizaiqigangneigongzuodeyalichuanganqi，yigenghaodiceliangcanyuhuaxuefanyingdegezhongwuzhidezhunquebili
，bingbashujufankuigeiyinqingguanlixitong。

　　由you於yu工gong作zuo環huan境jing惡e劣lie，汽qi車che傳chuan感gan器qi的de價jia格ge比bi消xiao費fei類lei傳chuan感gan器qi高gao得de多duo。另ling外wai
，汽qi車che傳chuan感gan器qi需xu要yao較jiao長chang的de鑒jian定ding時shi間jian，而er且qie這zhe些xie傳chuan感gan器qi必bi須xu能neng可ke靠kao工gong作zuo長chang達da15年的時間。有些傳感器，比如刹車或輪胎壓力傳感器，對於汽車安全至關重要。

　　MEMS壓ya力li傳chuan感gan器qi在zai汽qi車che中zhong的de一yi個ge新xin應ying用yong是shi傳chuan動dong係xi統tong壓ya力li感gan測ce，通tong常chang用yong於yu自zi動dong裝zhuang置zhi之zhi中zhong

，但dan也ye用yong於yu新xin型xing雙shuang離li合he器qi傳chuan動dong係xi統tong。德de國guo廠chang商shang博bo世shi最zui近jin進jin入ru該gai市shi場chang
，推tui出chu了le一yi款kuanMEMS解決方案，使用油來保護矽薄膜
，使其可以最高耐受70巴的壓力。博世幾年前也曾為MEMS壓力傳感器帶來巨大變化，當時使用的是多孔矽，帶來了高度可靠的MEMS器件，這些器件已用於目前的側麵氣囊等應用之中。

　　在醫療市場，壓力傳感器主要充當外科手術使用的一次性低成本導管。但它們也用於昂貴的設備之中

，在連續氣道正壓通氣(CPAC)機中感測壓力與差流。這些器件潛力巨大

，可能在2015年以後成為可植入傳感器。可植入傳感器不需要電池就能工作
，可以用於心髒測量和監測青光眼。

　　在工業領域，MEMS壓力傳感器的主要應用包括采暖通風及空調(HVAC)、水平麵測量
、各種工業過程與控製應用。例如
，除了精確的高度氣壓測量
，飛機使用傳感器監測引擎
、襟翼等其它部件。