項目簡介
----某集成電路製造（上海）有限公司是中國最大的半導體生產廠家之一。生產200mm (8 inch)的芯片，可達到密集程度0.25 μm 以下的工藝技能以滿足中國市場的巨大需求。
----zuoweizhuanyedequanjichengzidonghuajiejuefangandetigongzhe，womenpingzheqiangdadejishushiliyufengfudegongchengjingyanzaijiliedejingzhengzhongyingdelecigongsijiejingshizikongxitonggongchengdeheyue，tigonglecongshebeidaogongchengdeyixiliefuwu，baokuotigongjiyufensanguochengkongzhixitongdePCS7係(xi)統(tong)，控(kong)製(zhi)方(fang)案(an)的(de)選(xuan)擇(ze)和(he)控(kong)製(zhi)功(gong)能(neng)的(de)設(she)計(ji)，係(xi)統(tong)編(bian)程(cheng)，組(zu)態(tai)，安(an)裝(zhuang)，開(kai)車(che)調(tiao)試(shi)，工(gong)藝(yi)參(can)數(shu)優(you)化(hua)，以(yi)及(ji)相(xiang)關(guan)操(cao)作(zuo)維(wei)護(hu)手(shou)冊(ce)編(bian)寫(xie)，培(pei)訓(xun)。係(xi)統(tong)總(zong)I/O點數超過2000點。項目於2001.3啟動，2001.12竣工。 係統結構
----PCS7作為一個富有競爭力的過程控製係統，被用於此公司的淨化室項目中，兩個獨立的加工廠 (FAB1和FAB3B) 分別配備了一套PCS7係統。考慮到芯片加工廠連續生產的特性，我們采用了AS控製器冗餘技術。分布式I/O模塊的應用，滿足了安裝及接線靈活性的需要。分布式I/O模塊由靈活的底板總線驅動，可帶電插拔。為了確保其的可靠性，同時也配備了Profibus的冗餘通訊。UPS的應用解決了斷電問題。 控製策略
----芯(xin)片(pian)與(yu)生(sheng)產(chan)設(she)備(bei)本(ben)身(shen)對(dui)空(kong)氣(qi)的(de)溫(wen)濕(shi)度(du)非(fei)常(chang)敏(min)感(gan)。為(wei)了(le)維(wei)持(chi)潔(jie)淨(jing)室(shi)穩(wen)定(ding)的(de)環(huan)境(jing)，控(kong)製(zhi)係(xi)統(tong)必(bi)須(xu)能(neng)自(zi)動(dong)識(shi)別(bie)變(bian)化(hua)。通(tong)過(guo)新(xin)風(feng)機(ji)低(di)中(zhong)效(xiao)的(de)過(guo)濾(lv)以(yi)及(ji)風(feng)扇(shan)過(guo)濾(lv)單(dan)元(yuan)高(gao)效(xiao)過(guo)濾(lv)，可(ke)以(yi)實(shi)現(xian)對(dui)淨(jing)室(shi)潔(jie)淨(jing)度(du)的(de)控(kong)製(zhi)。利(li)用(yong)變(bian)速(su)風(feng)機(ji)可(ke)以(yi)進(jin)行(xing)壓(ya)力(li)控(kong)製(zhi)，潔(jie)淨(jing)室(shi)中(zhong)穩(wen)定(ding)的(de)正(zheng)壓(ya)是(shi)新(xin)風(feng)機(ji)和(he)排(pai)氣(qi)係(xi)統(tong)共(gong)同(tong)作(zuo)用(yong)的(de)結(jie)果(guo)。
----為wei了le更geng精jing確que地di控kong製zhi濕shi度du，我wo們men采cai用yong了le串chuan級ji控kong製zhi，從cong而er克ke服fu了le滯zhi後hou現xian象xiang。主zhu環huan控kong製zhi淨jing室shi的de相xiang對dui濕shi度du，而er副fu環huan主zhu要yao控kong製zhi送song風feng係xi統tong的de一yi些xie擾rao動dong，包bao括kuo公gong用yong部bu分fen的de一yi些xie不bu穩wen定ding因yin素su。在zai某mou一yi溫wen度du下xia，為wei了le保bao持chi空kong氣qi中zhong一yi定ding的de濕shi度du，必bi須xu注zhu意yi補bu給gei以yi保bao持chi空kong氣qi的de絕jue對dui濕shi度du。 項目突出點
----為(wei)盡(jin)快(kuai)建(jian)立(li)芯(xin)片(pian)生(sheng)產(chan)線(xian)，所(suo)有(you)的(de)工(gong)作(zuo)都(dou)幾(ji)乎(hu)在(zai)同(tong)時(shi)進(jin)行(xing)，那(na)就(jiu)意(yi)味(wei)著(zhe)需(xu)要(yao)一(yi)支(zhi)有(you)經(jing)驗(yan)的(de)專(zhuan)業(ye)化(hua)工(gong)程(cheng)隊(dui)伍(wu)。同(tong)時(shi)，由(you)於(yu)半(ban)導(dao)體(ti)製(zhi)造(zao)設(she)備(bei)的(de)巨(ju)大(da)投(tou)資(zi)，以(yi)及(ji)生(sheng)產(chan)線(xian)工(gong)人(ren)24小時不間斷的生產作業，這些都要求控製係統必須有高度的可靠性。 係統優勢
----考慮到半導體工業的特性與產品周期，西門子工業自動化有限公司為其配置了西門子具有高度靈活性，可靠性與一體化的PCS7過程控製係統，實現集成數據管理，集成編程，組態，集成通訊。
----采用的AS 414H/417H 是冗餘的自動化係統，由兩個獨立的中央處理單元組成，同步跟蹤被控對象，並通過CPU之間的數據線進行快速，直接的內部數據交換。這兩個獨立的中央處理單元可以以冗餘的方式接入工業以太網，並有冗餘的PROFIBUS-DP 接口連接I/O。一旦異常情況發生，故障搜索裝置啟動，受影響的單元停止，自動切入後備單元。
|
