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半導體分立器件是組成集成電路的基礎,包含大量的 雙端口或三端口器件,如二極管,晶體管,場效應管等。 直流I-V測試則是表征微電子器件、工藝及材料特性的 基石。通常使用I-V特性分析,或I-V曲線,來決定器 件的基本參數。微電子器件種類繁多,引腳數量和待 測參數各不相同,除此以外,新材料和新器件對測試 設備提出了更高的要求,要求測試設備具備更高的低 電流測試能力,且能夠支持各種功率範圍的器件。

分立器件I-V特性測試的主要目的是通過實驗,幫助工 程師提取半導體器件的基本I-V特性參數,並在整個工 藝流程結束後評估器件的優劣。
隨著器件幾何尺寸的減小,半導體器件特性測試對測 試係統的要求越來越高。通常這些器件的接觸電極尺 寸隻有微米量級,這些對低噪聲源表,探針台和顯微 鏡性能都提出了更高的要求。
半導體分立器件I-V特性測試方案,泰克公司與合作 夥伴使用泰克吉時利公司開發的高精度源測量單元 (SMU)為核心測試設備,配備使用簡便靈活,功能 豐富的CycleStar測試軟件,及精準穩定的探針台,為客戶提供了可靠易用的解決方案,極大的提高了用戶 的工作效率。

吉時利方案特點:
豐富的內置元器件庫,可以根據測試要求選擇所需要的待測件類型;
測試和計算過程由軟件自動執行,能夠顯示數據和曲線,節省了大量的時間;
精準穩定的探針台,針座分辨率可高達0.7um,顯微鏡放大倍數最高可達x195倍;
最高支持同時操作兩台吉時利源表,可以完成三端口器件測試。
測試功能:
二極管特性的測量與分析
極型晶體管BJT特性的測量與分析
MOSFET場效應晶體管特性的測量與分析
MOS 器件的參數提取
係統結構:
係統主要由一台或兩台源精密源測量單元(SMU)、 夾具或探針台、上位機軟件構成。以三端口MOSFET 器件為例,共需要以下設備:
1、兩台吉時利 2450 精密源測量單元
2、四根三同軸電纜
3、夾具或帶有三同軸接口的探針台
4、三同軸T型頭
5、上位機軟件與源測量單元(SMU)的連接方式如下圖所示,可以使用LAN/USB/GPIB中的任何一個接口進行連接。

係統連接示意圖:

典型方案配置:


西安某高校現場演示圖
安泰測試已為西安多所院校、企qi業ye和he研yan究jiu所suo提ti供gong吉ji時shi利li源yuan表biao現xian場chang演yan示shi,並bing獲huo得de客ke戶hu的de高gao度du認ren可ke,安an泰tai測ce試shi將jiang和he泰tai克ke吉ji時shi利li廠chang家jia一yi起qi,為wei客ke戶hu提ti供gong更geng優you質zhi的de服fu務wu和he全quan麵mian的de測ce試shi方fang案an,為wei客ke戶hu解jie憂you。
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