概述

wuchenshishibandaotishengchandeguanjiansheshi。buduishengchanguochengjinxingyangedekongzhijiangchanshengyouquexiandexinpianbingqielangfeibaoguideziyuan。duiwuchenshihuanjingdejiankongbaokuoguanlikongqiguolvxitong
、控製係統以及監測室內的溫度
、濕度、壓力
、氣(qi)體(ti)成(cheng)分(fen)和(he)其(qi)它(ta)參(can)數(shu)。為(wei)半(ban)導(dao)體(ti)製(zhi)造(zao)商(shang)工(gong)作(zuo)的(de)現(xian)場(chang)工(gong)程(cheng)師(shi)希(xi)望(wang)能(neng)夠(gou)連(lian)續(xu)簡(jian)單(dan)地(di)使(shi)用(yong)無(wu)塵(chen)室(shi)環(huan)境(jing)監(jian)控(kong)係(xi)統(tong)。這(zhe)樣(yang)的(de)係(xi)統(tong)應(ying)該(gai)能(neng)夠(gou)收(shou)集(ji)數(shu)據(ju)進(jin)行(xing)分(fen)析(xi)
，確(que)保(bao)製(zhi)造(zao)過(guo)程(cheng)在(zai)可(ke)接(jie)受(shou)的(de)參(can)數(shu)下(xia)進(jin)行(xing)，從(cong)而(er)防(fang)止(zhi)問(wen)題(ti)的(de)發(fa)生(sheng)。係(xi)統(tong)應(ying)該(gai)確(que)保(bao)加(jia)工(gong)過(guo)程(cheng)符(fu)合(he)半(ban)導(dao)體(ti)工(gong)業(ye)標(biao)準(zhun) - 一個非常重要的因素。用DAM-3000 係列數據采集模塊構成一個全麵的無塵室監測係統的核心。它們提供了一個經濟的
、易於實施的解決方案。 

係統要求

半導體製造商需要靈活、易yi於yu使shi用yong的de係xi統tong。操cao作zuo員yuan需xu要yao獲huo取qu和he分fen析xi整zheng個ge工gong廠chang的de信xin息xi，這zhe些xie信xin息xi通tong過guo輪lun流liu查zha詢xun詢xun遍bian布bu工gong廠chang的de遠yuan程cheng傳chuan感gan器qi而er得de到dao。他ta們men想xiang將jiang一yi個ge新xin的de係xi統tong增zeng加jia到dao現xian有you的de加jia工gong過guo程cheng和he設she備bei中zhong，而er不bu幹gan擾rao或huo修xiu改gai已yi經jing建jian設she好hao的de控kong製zhi係xi統tong。自zi然ran地di，製zhi造zao商shang想xiang要yao一yi個ge低di成cheng本ben的de解jie決jue方fang案an，並bing且qie在zai理li想xiang狀zhuang況kuang下xia應ying該gai是shi一yi個ge總zong監jian管guan係xi統tong。 

阿爾泰解決方案

我們開發了一個基於 RS-485多點網絡的解決方案。為保護無塵室
，係統必須有效可靠地監視過濾器風扇。DAM-3027 數字量輸入輸出模塊可以很好地執行這項重要任務。DAM-3058 具有 8 路模擬量輸入處理能力，能夠精確地監視空氣溫度
、壓力和濕度，防止塵埃的增加。

風feng淋lin室shi是shi為wei工gong作zuo人ren員yuan進jin出chu潔jie淨jing區qu所suo設she置zhi的de專zhuan用yong通tong道dao，可ke以yi有you效xiao的de降jiang低di外wai部bu人ren員yuan進jin入ru潔jie淨jing區qu所suo帶dai來lai的de汙wu染ran問wen題ti，並bing同tong時shi起qi到dao氣qi閘zha室shi密mi閉bi潔jie淨jing室shi的de作zuo用yong。風feng淋lin室shi通tong用yong性xing強qiang
，可ke與yu所suo有you的de潔jie淨jing室shi與yu潔jie淨jing廠chang房fang配pei套tao使shi用yong。使用DAM-3062模塊來控製風淋室和貨料進入的門禁係統，防止外來人員的入內，增加無塵室的塵埃
，影響生產。DAM-3018來控製鼓風機的運轉，一般的風淋室的風速要達到20m/s左右，普通的風扇達不到這種要求
，所以需要風機來操作。

結論

集成係統能夠提供連續不斷的監視。能夠對數據進行獨立的監控。還可以大大減少設備管理人員，降低運作成本
，方便客戶的使用
，減少不必要的損失。