概述

　　無(wu)塵(chen)室(shi)是(shi)半(ban)導(dao)體(ti)生(sheng)產(chan)的(de)關(guan)鍵(jian)設(she)施(shi)。不(bu)對(dui)生(sheng)產(chan)過(guo)程(cheng)進(jin)行(xing)嚴(yan)格(ge)的(de)控(kong)製(zhi)將(jiang)產(chan)生(sheng)有(you)缺(que)陷(xian)的(de)芯(xin)片(pian)並(bing)且(qie)浪(lang)費(fei)寶(bao)貴(gui)的(de)資(zi)源(yuan)。對(dui)無(wu)塵(chen)室(shi)環(huan)境(jing)的(de)監(jian)控(kong)包(bao)括(kuo)管(guan)理(li)空(kong)氣(qi)過(guo)濾(lv)係(xi)統(tong)、控製係統以及監測室內的溫度、濕度、壓力、qitichengfenheqitacanshu。weibandaotizhizaoshanggongzuodexianchanggongchengshixiwangnenggoulianxujiandandishiyongwuchenshihuanjingjiankongxitong。zheyangdexitongyinggainenggoushoujishujujinxingfenxi，quebaozhizaoguochengzaikejieshoudecanshuxiajinxing，congerfangzhiwentidefasheng。xitongyinggaiquebaojiagongguochengfuhebandaotigongyebiaozhun - 一個非常重要的因素。用DAM-3000 係列數據采集模塊構成一個全麵的無塵室監測係統的核心。它們提供了一個經濟的
、易於實施的解決方案。

　　係統要求

　　半導體製造商需要靈活、易yi於yu使shi用yong的de係xi統tong。操cao作zuo員yuan需xu要yao獲huo取qu和he分fen析xi整zheng個ge工gong廠chang的de信xin息xi，這zhe些xie信xin息xi通tong過guo輪lun流liu查zha詢xun詢xun遍bian布bu工gong廠chang的de遠yuan程cheng傳chuan感gan器qi而er得de到dao。他ta們men想xiang將jiang一yi個ge新xin的de係xi統tong增zeng加jia到dao現xian有you的de加jia工gong過guo程cheng和he設she備bei中zhong，而er不bu幹gan擾rao或huo修xiu改gai已yi經jing建jian設she好hao的de控kong製zhi係xi統tong。自zi然ran地di，製zhi造zao商shang想xiang要yao一yi個ge低di成cheng本ben的de解jie決jue方fang案an，並bing且qie在zai理li想xiang狀zhuang況kuang下xia應ying該gai是shi一yi個ge總zong監jian管guan係xi統tong。

　　阿爾泰解決方案

　　我們開發了一個基於 RS-485多點網絡的解決方案。為保護無塵室
，係統必須有效可靠地監視過濾器風扇。DAM-3027 數字量輸入輸出模塊可以很好地執行這項重要任務。DAM-3058 具有 8 路模擬量輸入處理能力，能夠精確地監視空氣溫度、壓力和濕度，防止塵埃的增加。

　　fenglinshishiweigongzuorenyuanjinchujiejingqusuoshezhidezhuanyongtongdao，keyiyouxiaodejiangdiwaiburenyuanjinrujiejingqusuodailaidewuranwenti，bingtongshiqidaoqizhashimibijiejingshidezuoyong。fenglinshitongyongxingqiang，keyusuoyoudejiejingshiyujiejingchangfangpeitaoshiyong。shiyongDAM-3062模塊來控製風淋室和貨料進入的門禁係統，防止外來人員的入內，增加無塵室的塵埃
，影響生產。DAM-3018來控製鼓風機的運轉，一般的風淋室的風速要達到20m/s左右
，普通的風扇達不到這種要求，所以需要風機來操作。

　　結論

　　集(ji)成(cheng)係(xi)統(tong)能(neng)夠(gou)提(ti)供(gong)連(lian)續(xu)不(bu)斷(duan)的(de)監(jian)視(shi)。能(neng)夠(gou)對(dui)數(shu)據(ju)進(jin)行(xing)獨(du)立(li)的(de)監(jian)控(kong)。還(hai)可(ke)以(yi)大(da)大(da)減(jian)少(shao)設(she)備(bei)管(guan)理(li)人(ren)員(yuan)，降(jiang)低(di)運(yun)作(zuo)成(cheng)本(ben)，方(fang)便(bian)客(ke)戶(hu)的(de)使(shi)用(yong)，減(jian)少(shao)不(bu)必(bi)要(yao)的(de)損(sun)失(shi)。