壓ya力li變bian送song器qi質zhi量liang流liu量liang控kong製zhi器qi中zhong設she置zhi有you一yi個ge氣qi體ti流liu量liang調tiao節jie閥fa門men，閥fa門men能neng使shi通tong過guo控kong製zhi器qi的de流liu量liang從cong零ling調tiao節jie到dao測ce量liang的de滿man量liang程cheng，在zai工gong作zuo的de過guo程cheng當dang中zhong，控kong製zhi器qi的de入ru口kou和he出chu口kou之zhi間jian會hui產chan生sheng一yi個ge氣qi壓ya降jiang，即ji壓ya差cha，MFC的工作壓差範圍通常為0.1～0.3MPa，若壓差低於最低值（0.1MPa）有可能控製達不到滿量程值
；若高於最高值（0.3MPa）有可能關閉時流量不能小於2%F.S

，用戶使用MFC時，無論用戶工作的反應室是真空還是高壓
，應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差範圍之內，並且要求氣壓要相對穩定。

    1、巡回檢查：

    儀表指示情況
，儀表示值有無異常；

    氣動變送器氣源壓力是否正常；

    電動壓力變送器電源電壓是否正常；

    環境溫度

、濕度、清潔狀況；

    儀表和工藝接口


、導壓管和閥門之間有無泄漏、腐蝕。

    2
、定期維護：

    定期檢查零點，定期進行校驗
；

    定期進行排汙
、排凝、放空；

    定期對易堵介質的導壓管進行吹掃，定期灌隔離液。

    3、設備大檢查：

    檢查儀表使用質量，壓力變送器達到準確
、靈敏，指示誤差
、靜壓誤差符合要求，零位正確；

    儀表零部件完整無缺，無嚴重鏽垢

、損壞，銘牌清晰無誤
，緊固件不得鬆動
，接插件接觸良好，端子接線牢固；技術資料齊全

、準確、符合管理要求。