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近年來,壓力傳感器正處於傳統型向新型傳感器轉型的發展階段。新型傳感器的特點是微型化、數字化、智能化、多功能化、係統化、網絡化,它不僅促進了傳統產業的改造,而且可導致建立新型工業,是21世紀新的經濟增長點。微型化是建立在微電子機械係統(MEMS)技術基礎上的,目前已成功應用在矽器件上形成矽壓力傳感器(如上述EJX變送器)。微電子機械加工技術,包括體微機械加工技術、表麵微機械加工技術、LIGA技術(X光深層光刻、微電鑄和微複製技術)、激光微加工技術和微型封裝技術等。MEMS的發展,把傳感器的微型化、智能化、多duo功gong能neng化hua和he可ke靠kao性xing水shui平ping提ti高gao到dao了le新xin的de高gao度du。傳chuan感gan器qi的de檢jian測ce儀yi表biao,在zai微wei電dian子zi技ji術shu基ji礎chu上shang,內nei置zhi微wei處chu理li器qi,或huo把ba微wei傳chuan感gan器qi和he微wei處chu理li器qi及ji相xiang關guan集ji成cheng電dian路lu(運算放大器、A/D或D/A、存貯器、網絡通訊接口電路)等封裝在一起完成了數字化、智能化、網絡化、係統化。(注:MEMS技術還完成了微電動機或執行器等產品,將另作文介紹)網絡化方麵,目前主要是指采用多種現場總線和以太網(互聯網),這要按各行業的特點,選擇其中的一種或多種,近年內最流行的有FF、Profibus、CAN、Lonworks、AS-Interbus、TCP/IP等。
檢測儀表與傳感器發展趨勢預測。在現代工業設備中,壓力傳感器和檢測儀表是不可或缺的一部分的理由,還可由以下兩方麵來看,傳統的工業設備如在其上增加了必要的傳感器,配備精密測量部件(附件),則其功能和精度可以提高,便於用戶操作和維護,安全等級也可以提高,設備可以增值;工業設備作為自動化係統的控製對象或作為自動化係統的一部分,必須能與自動化係統的三部分(檢測、控製、執行)xiangjianronghuotigongjiekou,shizhijichengweiyigeyoujidezhengti,wulunshidanjizidonghuahuozuoweidaxingzidonghuazhuangzhideyibufen,doushigaigongyeshebeideyongtukuoda。zongshangsuoshu,zuoweigongyeshebeibenshenzengjiachuanganqihejianceyibiao、測量儀表或提供接口,是傳統設備更新換代的必要條件。
多傳感器數據融合技術正在形成熱點,它形成於20世紀80niandai,tabutongyuyibanxinhaochuli,yebutongyudangehuoduogechuanganqidejianceheceliang,ershiduijiyuduogechuanganqiceliangjieguojichushangdegenggaocengcidezonghejueceguocheng。youjianyuchuanganqijishudeweixinghua、智(zhi)能(neng)化(hua)程(cheng)度(du)提(ti)高(gao),在(zai)信(xin)息(xi)獲(huo)取(qu)基(ji)礎(chu)上(shang),多(duo)種(zhong)功(gong)能(neng)進(jin)一(yi)步(bu)集(ji)成(cheng)以(yi)致(zhi)於(yu)融(rong)合(he),這(zhe)是(shi)必(bi)然(ran)的(de)趨(qu)勢(shi),多(duo)傳(chuan)感(gan)器(qi)數(shu)據(ju)融(rong)合(he)技(ji)術(shu)也(ye)促(cu)進(jin)了(le)傳(chuan)感(gan)器(qi)技(ji)術(shu)的(de)發(fa)展(zhan)。多(duo)傳(chuan)感(gan)器(qi)數(shu)據(ju)融(rong)合(he)的(de)定(ding)義(yi)概(gai)括(kuo):bafenbuzaibutongweizhideduogetongleihuobutongleichuanganqisuotigongdejubushujuziyuanjiayizonghe,caiyongjisuanjijishuduiqijinxingfenxi,xiaochuduochuanganqixinxizhijiankenengcunzaiderongyuhemaodun,jiayihubu,jiangdiqibuqueshixing,huodebeiceduixiangdeyizhixingjieshiyumiaoshu,congertigaoxitongjuece、規劃、反應的快速性和正確性,使係統獲得更充分的信息。其信息融合在不同信息層次上出現,包括數據層(像素層)融合、特征層融合、決策層(證據層)融合。由於它比單一傳感器信息有如下優點,即容錯性、互補性、實時性、經濟性,所以逐步得到推廣應用。應用領域除軍事外,已適用於自動化技術、機器人、海洋監視、地震觀測、建築、空中交通管製、醫學診斷、遙感技術等方麵。
除MEMS外,新型傳感器的發展還有賴於新型敏感材料、敏感元件和納米技術,如新一代光纖傳感器、超導傳感器、焦平麵陳列紅外探測器、生物傳感器、納米傳感器、新型量子傳感器、微型陀螺、網絡化傳感器、智能傳感器、模糊傳感器、多功能壓力傳感器等。
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