日前，從國家自然科學基金委員會獲悉，沈陽儀表研究院與沈陽工業大學聯合申報的“高固有頻率納米膜壓阻加速度傳感器研究”項目獲得立項批複，項目總經費78萬元，執行年限2014年1月至2017年12月。

　　該獲批立項項目
，將基於納米功能材料設計一種帶有主梁和超薄敏感微梁的MEMS加速度傳感器。利用納米膜壓阻微梁之超常的機械特性和良好的壓阻特性，提高靈敏度，改善溫度特性；通tong過guo對dui該gai敏min感gan結jie構gou之zhi主zhu梁liang和he微wei梁liang的de合he理li設she計ji

，解jie決jue加jia速su度du傳chuan感gan器qi中zhong普pu遍bian存cun在zai的de諧xie振zhen頻pin率lv與yu靈ling敏min度du相xiang互hu製zhi約yue的de難nan題ti，達da到dao均jun衡heng提ti高gao固gu有you諧xie振zhen頻pin率lv和he靈ling敏min度du的de目mu的de
；突破微梁加工和芯片鈍化、封feng裝zhuang等deng關guan鍵jian技ji術shu，研yan製zhi出chu新xin型xing加jia速su度du傳chuan感gan器qi樣yang品pin，並bing最zui終zhong驗yan證zheng這zhe種zhong壓ya阻zu加jia速su度du傳chuan感gan器qi的de可ke行xing性xing及ji優you勢shi。該gai項xiang目mu的de開kai展zhan可ke望wang在zai隧sui道dao壓ya阻zu效xiao應ying
、namifuhemoweilianglixuetexingyijixinxingjiasuduchuanganqijishudengfangmiandeyanjiuzhonghuodechuangxinxingchengguo。zaichuanganjishuriyishoudaogaoduzhongshidebeijingxia
，zhexiechengguojiangjuyouguangkuodeyingyongqianjing。