壓(ya)力(li)變(bian)感(gan)器(qi)
，尤(you)其(qi)是(shi)差(cha)壓(ya)變(bian)送(song)器(qi)在(zai)我(wo)國(guo)石(shi)化(hua)行(xing)業(ye)大(da)量(liang)使(shi)用(yong)。變(bian)送(song)器(qi)來(lai)源(yuan)的(de)絕(jue)大(da)多(duo)數(shu)依(yi)靠(kao)進(jin)口(kou)，不(bu)僅(jin)價(jia)格(ge)昂(ang)貴(gui)，而(er)且(qie)
，由(you)於(yu)不(bu)具(ju)有(you)自(zi)主(zhu)知(zhi)識(shi)產(chan)權(quan)
，很(hen)有(you)可(ke)能(neng)暗(an)藏(zang)潛(qian)在(zai)威(wei)脅(xie)。能(neng)源(yuan)安(an)全(quan)關(guan)乎(hu)國(guo)家(jia)安(an)全(quan)
，因(yin)此(ci)傳(chuan)感(gan)器(qi)國(guo)產(chan)化(hua)迫(po)在(zai)眉(mei)睫(jie)。

   目前，國外廠商生產的傳送器中使用的MEMS壓力變感器主要有壓阻式和電容式2種結構
，以壓阻式結構居多。西門子公司DSm係列壓力變送器就是采用壓阻式結構的壓力傳感器。美國羅斯蒙特公司3o51係(xi)列(lie)壓(ya)力(li)變(bian)送(song)器(qi)的(de)傳(chuan)感(gan)器(qi)芯(xin)片(pian)也(ye)是(shi)壓(ya)阻(zu)式(shi)結(jie)構(gou)。壓(ya)阻(zu)式(shi)傳(chuan)感(gan)器(qi)應(ying)用(yong)非(fei)常(chang)廣(guang)泛(fan)。國(guo)內(nei)很(hen)多(duo)廠(chang)商(shang)依(yi)靠(kao)進(jin)口(kou)壓(ya)阻(zu)式(shi)傳(chuan)感(gan)器(qi)
，設(she)汁(zhi)製(zhi)造(zao)國(guo)產(chan)變(bian)送(song)器(qi)。壓(ya)阻(zu)式(shi)傳(chuan)感(gan)器(qi)技(ji)術(shu)成(cheng)熟(shu)，很(hen)適(shi)合(he)國(guo)產(chan)化(hua)研(yan)製(zhi)。但(dan)是(shi)，壓(ya)阻(zu)式(shi)傳(chuan)感(gan)器(qi)容(rong)易(yi)受(shou)溫(wen)度(du)、濕度等環境因素影響

，而且，靜壓特性依賴工藝水平，無法得到保證。這兩大難點限製了國產壓阻式傳感器的測量精度和穩定性。

   以富士公司為代表的少數企業生產了以矽電容傳感器為核心的壓力變送器。電容式壓力傳感器具有精度高
、changqiwendingxinghaodeyoudian，danshi，taduishengchangongyiyaoqiugao，jiagongnanduda。guoneicongshiguidianrongyalichuanganqideyanjiukeyishuoshiganggangqibu。jinguanguoneiyijingyoudanweiyanzhichuleguidianrongchuanganqitadejingduhejingyatexingyijiejinfushigongsichanpindepingjunshuiping，danzaichangqiwendingxingfangmian
，chajujiaoda。tongshi，guoneidedianrongchuanganqizaigaochayaheweichayaguigedekaifashangrengyoujiaodachaju。guowaiyazushichuanganqijingdukeyidadao0.075%，而國內研製的壓阻式傳感器的精度隻有0.1%。在長期穩定性能上

，國產傳感器和進口傳感器的差距更為明顯。國產產品長期穩定性的指標為0.1%/年
，比國外產品至少高2倍。另外，國產產品的溫度特性差。與國外產品相比，溫度漂移比國外產品的典型值大50%～100%。此外，國產產品的規格品種不夠全，在微差壓和高差壓
、高靜壓規格方麵沒有成熟的產品
，不能滿足某些工藝的特殊要求。

   壓力傳感器的國產化問題的關鍵主要是如何提高傳感器的長期穩定性。傳感器的長期穩定性和傳感器的材料選擇、結構設計
、加工工藝密切相關。我國在MEMS加工工藝上還處於相對落後階段，提高工藝水平無疑是提高傳感器性能的長遠之計。

   目前，國內相關高校和科研院所對壓阻式和電容式MEMSchuanganqijinxingledaliangdeyanjiu
，zaililunhegongyishuipingshangdouqudeleyipichengguo。jiudangqiangongyishuipingeryan，ruguonenggoushixianmouzhongxingshidebuchanghuozhezaixiandezibiaodingfangfa
，zeyoukenengzaiduanqineitigaochuanganqidechangqiwendingxing
，shiguochanchuanganqizaiwendingxingzhibiaoshangmanzushihuaxingyexuqiu。yinci
，zaiguoneiMEMS研究的基礎上
，通過科研院所和工廠的協同合作，共同努力，完全可以實現石化行業所需壓力變送器的國產化。