編者語：近些年來
，基於MEMS等技術的新興微型傳感器如加速度傳感器、角速度傳感器、無線傳感器、生物傳感器

、guangchuanganqidengdepujibuduangeichuanganqishichangdailaixindezengchangdian。biruzuijinxingqidechuanganwanggainian
，jiuyuweixingwuxianchuanganqixixixiangguan，yezhengshishouyiyuchuanganwangdefazhan，wuxianchuanganqishichangshoudaoyejiedeguanzhubingzengchangxunsu，juyouguanshichangyanjiujigouyuce，zai2007-2010年該市場年複合增長率會超過25%。

   采用新型技術與工藝的微型傳感器，拓展了應用領域

，滿足了更高的要求，成為推動傳感市場發展的動力。

   據有關報告顯示，2008年全球傳感器市場規模為506億美元，而到2010年預計全球傳感器市場則可達600億yi美mei元yuan以yi上shang。近jin些xie年nian來lai，與yu半ban導dao體ti工gong藝yi的de融rong合he成cheng為wei推tui動dong傳chuan感gan器qi發fa展zhan的de一yi個ge重zhong要yao動dong力li，這zhe種zhong融rong合he使shi傳chuan感gan器qi的de性xing能neng更geng加jia強qiang大da，而er體ti積ji卻que越yue來lai越yue小xiao，催cui生sheng出chu微wei型xing傳chuan感gan器qi。微wei型xing傳chuan感gan器qi的de出chu現xian使shi原yuan本ben在zai很hen多duo不bu能neng應ying用yong傳chuan感gan器qi的de領ling域yu得de以yi應ying用yong傳chuan感gan器qi件jian
，從cong而er為wei係xi統tong產chan品pin的de智zhi能neng化hua提ti供gong了le條tiao件jian。與yu此ci同tong時shi
，傳chuan感gan器qi應ying用yong領ling域yu的de拓tuo展zhan帶dai來lai了le更geng多duo的de市shi場chang需xu求qiu。近jin些xie年nian來lai
，基ji於yuMEMS等技術的新興微型傳感器如加速度傳感器
、角速度傳感器、無線傳感器
、生物傳感器
、guangchuanganqidengdepujibuduangeichuanganqishichangdailaixindezengchangdian。biruzuijinxingqidechuanganwanggainian，jiuyuweixingwuxianchuanganqixixixiangguan，yezhengshishouyiyuchuanganwangdefazhan，wuxianchuanganqishichangshoudaoyejiedeguanzhubingzengchangxunsu
，juyouguanshichangyanjiujigouyuce，zai2007-2010年該市場年複合增長率會超過25%。

   微型傳感器工藝技術創新

   微(wei)型(xing)傳(chuan)感(gan)器(qi)聽(ting)起(qi)來(lai)是(shi)體(ti)積(ji)微(wei)小(xiao)的(de)傳(chuan)感(gan)器(qi)，但(dan)實(shi)際(ji)上(shang)
，它(ta)並(bing)不(bu)是(shi)傳(chuan)統(tong)傳(chuan)感(gan)器(qi)簡(jian)單(dan)物(wu)理(li)縮(suo)小(xiao)的(de)產(chan)物(wu)。據(ju)專(zhuan)家(jia)介(jie)紹(shao)
，它(ta)是(shi)以(yi)新(xin)的(de)工(gong)作(zuo)機(ji)製(zhi)和(he)物(wu)化(hua)效(xiao)應(ying)，使(shi)用(yong)標(biao)準(zhun)半(ban)導(dao)體(ti)工(gong)藝(yi)兼(jian)容(rong)的(de)材(cai)料(liao)
，通(tong)過(guo)MEMS等加工技術製備的新一代傳感器件，具有小型化

、集成化的特點，可以極大地提高傳感器性能。它的出現解決了傳統的傳感器因其製作工藝與半導體工藝不兼容，在性能、尺寸和成本上不能與通過半導體技術製作的高速度、高密度
、小體積和低成本的信號處理器件相適應的難題。

   為滿足市場更高的要求，傳感器廠商在技術與工藝上不斷進步
，產品也更加差異化。比如，愛普生的微型傳感器采用QMEMS工藝製作。愛普生(中國)有限公司副總經理酒井嘉弘告訴《中國電子報》的記者， QMEMS是合並了QUARTZ和MEMS這zhe兩liang個ge關guan鍵jian詞ci構gou成cheng的de一yi項xiang獨du有you的de新xin技ji術shu，它ta是shi采cai用yong感gan光guang印yin刷shua加jia工gong技ji術shu實shi現xian的de晶jing體ti精jing細xi加jia工gong工gong藝yi。傳chuan統tong的de機ji械xie加jia工gong工gong藝yi是shi在zai切qie斷duan晶jing體ti基ji板ban後hou，將jiang晶jing體ti片pian與yu研yan磨mo劑ji一yi起qi放fang在zai容rong器qi中zhong邊bian旋xuan轉zhuan邊bian研yan磨mo，然ran後hou對dui晶jing體ti進jin行xing倒dao角jiao加jia工gong。現xian在zai它ta在zai很hen多duo方fang麵mian達da到dao了le極ji限xian。而er愛ai普pu生sheng利li用yong感gan光guang印yin刷shua技ji術shu對dui晶jing體ti實shi施shi精jing細xi加jia工gong，其qi工gong藝yi與yu機ji械xie加jia工gong相xiang比bi，大da幅fu提ti升sheng穩wen定ding性xing，並bing實shi現xian了le產chan品pin的de超chao小xiao型xing化hua
，也ye使shi得de晶jing體ti特te性xing大da幅fu改gai善shan。

   美新半導體的MEMS加jia速su度du傳chuan感gan器qi則ze采cai用yong了le熱re對dui流liu的de技ji術shu
，美mei新xin半ban導dao體ti市shi場chang總zong監jian張zhang嘉jia福fu表biao示shi
，這zhe種zhong技ji術shu不bu同tong於yu電dian容rong技ji術shu，可ke以yi使shi產chan品pin具ju有you更geng高gao的de抗kang衝chong擊ji性xing能neng，並bing降jiang低di了le故gu障zhang率lv，而er它ta采cai用yong的deCMOS工藝也顯著降低了成本。

   應用向消費電子拓展

   應用市場的發展也給微型傳感器提供了很好的舞台，無論是在汽車
、機械製造工業、工業過程控製，還是家居類和消費類電子產品領域，微型傳感器的應用都比以往更加廣泛。

   基於MEMS技術的微型傳感器具有很多特點，比如提高了信噪比和靈敏度
、具有陣列性、集成度高、又(you)有(you)很(hen)好(hao)的(de)兼(jian)容(rong)性(xing)。而(er)又(you)由(you)於(yu)它(ta)采(cai)用(yong)成(cheng)熟(shu)的(de)矽(gui)微(wei)半(ban)導(dao)體(ti)加(jia)工(gong)工(gong)藝(yi)加(jia)工(gong)製(zhi)造(zao)，可(ke)以(yi)批(pi)量(liang)生(sheng)產(chan)，降(jiang)低(di)了(le)成(cheng)本(ben)，所(suo)以(yi)它(ta)在(zai)很(hen)多(duo)應(ying)用(yong)領(ling)域(yu)受(shou)到(dao)了(le)歡(huan)迎(ying)。

   MEAS公司的MEMS傳感器就廣泛涉及壓力
、加速度、溫度濕度、磁阻位移等各測試領域以及各種麵向行業具體應用的綜合微型傳感器。MEAS公司技術拓展經理程永紅一口氣為記者舉了好幾個典型的應用例子，比如醫療手術用有創血壓傳感器、高檔汽油車用氣體質量流量傳感器、汽車(尤其是混合動力車)防霧用溫度濕度一體傳感器、微加工音叉技術的油品傳感器、車輛尾氣係統用溫度濕度壓力一體測量傳感器等等。

   張嘉福認為
，MEMS傳感器早已滲透到工業、汽車和導航係統的市場，這是因為基於MEMS技術的新產品提供了很低的成本
，從而使相關市場受益。而MEMS未來應用的趨勢一定會在家庭和消費電子上，因為它們成長最快
，也是最大的市場。

   但從目前來看，全球傳感器市場增長最快的市場仍然是汽車市場，排在第二的則是過程控製市場。

   無線市場快速成長

   物(wu)聯(lian)網(wang)或(huo)稱(cheng)傳(chuan)感(gan)網(wang)最(zui)近(jin)在(zai)一(yi)些(xie)地(di)區(qu)發(fa)展(zhan)起(qi)來(lai)，使(shi)其(qi)概(gai)念(nian)成(cheng)為(wei)業(ye)界(jie)關(guan)注(zhu)的(de)熱(re)點(dian)。作(zuo)為(wei)關(guan)鍵(jian)的(de)器(qi)件(jian)之(zhi)一(yi)，在(zai)物(wu)聯(lian)網(wang)或(huo)者(zhe)傳(chuan)感(gan)網(wang)中(zhong)
，無(wu)線(xian)傳(chuan)感(gan)器(qi)也(ye)將(jiang)扮(ban)演(yan)重(zhong)要(yao)的(de)角(jiao)色(se)。

   傳chuan感gan器qi廠chang商shang自zi然ran也ye對dui新xin興xing的de市shi場chang倍bei加jia重zhong視shi，他ta們men在zai密mi切qie觀guan察cha市shi場chang的de發fa展zhan，並bing期qi待dai物wu聯lian網wang標biao準zhun的de出chu台tai，同tong時shi也ye為wei進jin入ru此ci市shi場chang做zuo好hao了le準zhun備bei。張zhang嘉jia福fu對dui記ji者zhe表biao示shi，物wu聯lian網wang是shi一yi個ge新xin型xing的de應ying用yong
，近jin來lai正zheng在zai被bei普pu及ji之zhi中zhong。但dan實shi際ji上shang
，物wu聯lian的de智zhi能neng傳chuan感gan器qi網wang絡luo不bu是shi一yi個ge新xin的de概gai念nian
，RFID（射頻識別）和Zigbee曾都是為這個目的所創造。現在帶寬、基(ji)礎(chu)設(she)施(shi)和(he)傳(chuan)感(gan)器(qi)技(ji)術(shu)終(zhong)於(yu)趕(gan)上(shang)
，為(wei)這(zhe)種(zhong)類(lei)型(xing)的(de)應(ying)用(yong)做(zuo)好(hao)了(le)準(zhun)備(bei)。他(ta)表(biao)示(shi)
，對(dui)於(yu)物(wu)聯(lian)網(wang)來(lai)說(shuo)存(cun)在(zai)不(bu)同(tong)類(lei)型(xing)的(de)係(xi)統(tong)架(jia)構(gou)和(he)實(shi)施(shi)方(fang)法(fa)，他(ta)們(men)正(zheng)在(zai)評(ping)估(gu)，看(kan)美(mei)新(xin)的(de)產(chan)品(pin)可(ke)以(yi)在(zai)什(shen)麼(me)係(xi)統(tong)和(he)應(ying)用(yong)中(zhong)采(cai)用(yong)，並(bing)能(neng)為(wei)客(ke)戶(hu)創(chuang)造(zao)最(zui)多(duo)的(de)價(jia)值(zhi)。

   MEASgongsiduiwuxianchuanganqilingyuyefeichangzhongshi，tamenchenglilezhuanmendeshiyebuheyanfazhongxin，zaimeiguoheouzhoudeshichangshangqidiyidaiyaliwendushiduwuxianchuanganqiyijingzaizhongyaodegongyelingyubeicaiyong。chengyonghonggaosujizhe，tamenzhengzaizizhuyanfaxinpianjidigonghaojiejuefangan，zaixinxingdedanyuelaiyuepujideguojiguoneiwuxianchuanganlingyujiangzhanyouxiangdangdeshichangfene。

   muqianwulianwangganggangkaishifazhan，yejieyeyourenchihuaiyitaidu
，renweiwulianwangdeguangfanhuliancunzaijiaodanandu，biaozhunyenanyitongyi，burongyishixian。danbuguanzenyang，duiyuchuanganqilaishuo

，wulianwangdechuxianhaishigeiqidailailexindeshichangjihuiheyingyongdechuangxinsilu。