日前，8寸晶圓顯微鏡檢測係統經6個月的研發，在北京自動化技術研究院大興工業基地誕生，這是繼大氣型矽片專用機械手和wafer loader後的又一款新型機械手。這項技術完全由自動化院自主研發、自行生產。整個係統由傳輸裝置
、宏觀檢查裝置和顯微放大裝置組成，內部係統則是由第三代控製軟件來實現。

   8cunjingyuanxianweijingjiancexitongtongguojixieshoujiangjingyuancongpianhequchufangzaizhenkongxifutuopanshang，tongguoshubiaohuocaozuoanjiangaibianjingyuandezhuanxiangyichubujianzha。xianweijingpingtaikejinxingjingmijiance，nenggouguanchajingyuanweiguandekeli，huashang，wurandengqingkuang。zhezhongjixieshoucaiyonglezhixianxingzhenkongxifujiegou，linghuokekao，xianweijingpingtainenggoutigong40-1000倍的觀察效果。它還可以提供多種靈活多變的晶圓檢測模式

，包含以下檢測內容：晶圓ID、晶圓notch的方向、晶圓旋轉角度及速度、晶圓微觀的晶格等，並能夠實現連續監控｡

   在整個研發過程中
，機械設計、軟件設計、dianlushejiheqilushejidouzuolejinyibudegaijinheyouhua。qizhongzairuanjianbufen，shixianlemokuaihuahebiaozhunhuadeyingyong，zaishebeiduandianhuocaozuobudangdengyuanyinchuxianshebeiguzhangshi，tiaoshirenyuanyekeyizaizuiduanshijianneijiangtahuifu。zaidi3代dai軟ruan件jian版ban本ben中zhong，改gai善shan了le人ren機ji交jiao互hu界jie麵mian，使shi得de操cao作zuo者zhe可ke以yi在zai友you好hao的de界jie麵mian中zhong易yi於yu操cao作zuo
，交jiao互hu便bian捷jie，同tong時shi也ye保bao證zheng了le設she備bei運yun行xing的de安an全quan和he穩wen定ding。在zai電dian子zi電dian路lu設she計ji方fang麵mian主zhu要yao控kong製zhi了le電dian機ji和he傳chuan感gan器qi反fan饋kui給gei板ban卡ka的de信xin號hao
，使shi得de信xin息xi既ji可ke以yi接jie受shou也ye可ke以yi反fan饋kui，形xing成cheng閉bi環huan。其qi中zhong在zai機ji械xie手shou的de危wei險xian位wei置zhi設she置zhi傳chuan感gan器qi，是shi為wei了le避bi免mian它ta發fa生sheng碰peng撞zhuang和he危wei險xian動dong作zuo。