中國電子科技集團公司第四十五研究所(以下簡稱45所)是我國專業從事半導體專用工藝設備研發、製造和技術服務的大型科研生產機構，是國家“863”重大設備攻關、IC後封裝設備產業化示範工程項目承擔單位。45所憑借其多年來的技術積累和創新，默默地耕耘在半導體設備領域。

   10大門類產品服務4大領域

   中國電子科技集團(CETC)第45研究所是國內從事電子專用設備技術、整機係統和應用工藝研究開發與生產製造的專業化科研生產單位，以機器視覺技術、運動控製技術、精密零部件製造與優化技術
、物料傳輸係統技術
、精密運動工作台係統技術
、專項工藝研究與物化技術和整機係統集成技術為主要研究方向，以半導體與集成電路專用設備
、新興電子元器件專用設備和其他機電一體化專用設備為主要研發對象。現已形成以IC關鍵工藝設備“光刻機”為龍頭，晶圓加工設備、芯片封裝設備及電子元件設備等門類齊全，係列配套的產品。由45所研製的半導體材料加工、光刻、電鍍
、腐蝕清洗
、檢測係統
、劃片、鍵合設備在國內處於技術領先地位並已具備規模生產能力。

   45所研製的產品涉及4大領域10大門類，有100多個品種。30多年來
，45所共取得科研成果500多項
，其中200多項獲得國家

、省(部)級以上獎勵；申請並獲得技術專利50多項；有59種專用設備被國家列入替代進口產品目錄
，另有20多項被列為國家級新產品。由45所研發生產的6000多台(套)專用設備在我國集成電路製造行業和其他行業近300家企業的生產線、科研院所以及高校發揮著重要作用。

   45所產品服務的主要市場領域包括微電子、半導體照明(LED)、太陽能光伏、半導體分立器件及元件
、特種材料等其他電子元器件。其中，微電子及分立器件客戶大多數分布在珠、長三角地區，主要涉及光刻機、清洗係統、探針台、劃片機、焊線機等產品；半導體照明設備產品的客戶(封裝+芯片)主要分布在珠三角地區，主要涉及光刻機、清洗係統、探針台
、劃片機
、粘片機、焊線機等產品；太陽能光伏(含太陽能矽片及電池片)設備產品的客戶主要分布在長三角地區
，涉及多線切割機、印刷機
、清洗製絨係統
、甩幹機、劃片機等產品。其他元件、特種材料等電子元器件設備產品客戶在全國各地均有分布，涉及的產品包括切片機
、清洗機、甩幹機、劃片機等。

   LED設備受到廣泛青睞

   在市場開拓方麵
，他們注重國內大用戶
、龍頭企業的開發，在半導體後封裝專用設備、 LED(發光二極管)生產專用設備及太陽能生產專用設備等方麵取得了較大的進展

，所開發的部分產品已經能和國外大公司的產品抗衡，尤其是LED設備更是受到眾多廠商的青睞。

   目前

，針對DB-8002LEDzidongzhanpianjitamenyouyizhizhuanyedeshouhouduiwu，nenggouwanchengcongshouqiandejishuzhichi，daoshouhoudejishufuwujiweixiugongzuo
，youxiaobaozhengshebeizaiyonghuxianchangdezhengchangyunxing。guoneiLEDzhizaoxingyejingzhengriqujilie
，chanpindelirunfeichangdi，daduoshuyishougongshengchanweizhu，chanpinpinzhinanyibaozheng。erzidonghuashebeiyuanlaiyaoyilaijinkou，bujinjiageanggui，shouhoufuwuyedebudaobaozheng。muqianguoneizheleishebeinianxuqiuchaoguo500台（套）
，而45所(suo)開(kai)發(fa)的(de)設(she)備(bei)恰(qia)恰(qia)滿(man)足(zu)這(zhe)部(bu)分(fen)用(yong)戶(hu)的(de)需(xu)求(qiu)，在(zai)設(she)備(bei)性(xing)能(neng)和(he)品(pin)質(zhi)上(shang)和(he)國(guo)外(wai)設(she)備(bei)相(xiang)當(dang)
，價(jia)格(ge)和(he)售(shou)後(hou)就(jiu)成(cheng)了(le)他(ta)們(men)優(you)勢(shi)所(suo)在(zai)。同(tong)時(shi)

，為(wei)了(le)追(zhui)求(qiu)較(jiao)高(gao)的(de)利(li)潤(run)
，很(hen)多(duo)廠(chang)商(shang)都(dou)要(yao)生(sheng)產(chan)一(yi)些(xie)個(ge)性(xing)化(hua)的(de)LED應用產品
，這就對設備也提出了個性化要求。45所可以很快地深入用戶
，了解用戶工藝情況
，提出解決方案。
   未來他們將按既定的開發思路，除在產品技術含量、可靠性、製造成本等方麵繼續做好工作以外，重點開發國內的龍頭企業
，以此帶動整個行業的市場開拓
，謀求更大的市場份額。

   積極跟蹤生產工藝發展

   45所作為我國半導體製造設備開發生產的國家隊，始終站在與國外設備競爭的最前沿，堅持以為太陽能電池企業提供工藝實用性強、性價比高的設備為己任
，以降低太陽能電池企業投資和運行成本、提ti升sheng太tai陽yang能neng電dian池chi企qi業ye市shi場chang競jing爭zheng力li為wei目mu標biao
，致zhi力li於yu加jia快kuai提ti高gao國guo產chan設she備bei整zheng線xian供gong給gei裝zhuang備bei和he工gong藝yi技ji術shu的de能neng力li。由you於yu看kan到dao太tai陽yang能neng電dian池chi和he半ban導dao體ti照zhao明ming產chan業ye的de迅xun猛meng發fa展zhan勢shi頭tou，45所針對其工藝和使用特點
，對相關產品進行了適應性改進和提升
，取得了較好的市場反響。絲網印刷、矽片製絨、清洗和大容量衝洗甩幹等設備已批量進入國內主要的太陽能電池生產企業。

   由45所自主研發的太陽能光伏設備，擁有自主知識產權
，並申請了多項專利
，關鍵零部件國產化率已達80%。“陽光采購工程”為國內外優秀的原材料和元器件供應商搭建了技術交流平台
，在北京及其周邊地區已形成了良好的生產、供應相互配套的產業鏈

，促進了這些地區企業的經濟效益，帶動了地方經濟的發展。

   在產品開發策略上，他們瞄準晶體矽太陽能電池製造最關鍵的設備——多線切割機和全自動印刷設備重點開發、目前，這兩種設備的國產化工作取得了重大進展。

   在太陽能矽片製備方麵，45所自主研發，擁有15項專利的多線切割機日前已成功切割出厚度為180μ m的標準 156mm×156mm方矽片。

   在太陽能電池片製造方麵，備受關注的全自動絲網印刷自動係統開發也取得了重大突破，設備關鍵的單元技術，如視覺對準、自動傳輸翻片係統、碎片在線檢測係統
、自動柔性印刷、效率檢測分揀係統等已完成了實用化開發，該設備將在2010年實現批量生產。

   45所從20世紀60年(nian)代(dai)就(jiu)開(kai)始(shi)了(le)對(dui)內(nei)圓(yuan)及(ji)外(wai)圓(yuan)切(qie)片(pian)機(ji)的(de)研(yan)究(jiu)，積(ji)累(lei)了(le)豐(feng)富(fu)的(de)技(ji)術(shu)經(jing)驗(yan)。麵(mian)對(dui)太(tai)陽(yang)能(neng)原(yuan)材(cai)料(liao)價(jia)格(ge)上(shang)漲(zhang)
，多(duo)線(xian)切(qie)割(ge)機(ji)市(shi)場(chang)需(xu)求(qiu)增(zeng)長(chang)的(de)趨(qu)勢(shi)
，適(shi)時(shi)地(di)開(kai)發(fa)了(le)DXQ-601型多線切割機，技術指標
、工藝性能等參數均接近或超過國外同類設備的水平，填補了國內該類產品的空白。與傳統內圓切片工藝相比，線切割具有彎曲度
、翹曲度小
，平行度好，總厚度偏差離散性小

，刃口切割損耗小，表麵損傷層淺，晶片表麵粗糙度小，切割效率高等顯著優點。

   zhirongshizhizaotaiyangnengdianchideyidaoguanjiangongyi
，duitigaodianchidezhuanhuanxiaolvqizhezhongyaodezuoyong
，muqianzaidanjingguitaiyangnengdianchizhizaogongyizhong，zhuyaocaiyongcaoshizhirongshebei。you45所研製的SFQ-1508ZT型全自動製絨清洗機、SFQ-1504ZT全自動去磷矽玻璃清洗機
、SFQ-1506ZT全自動預清洗機等設備
，全過程均采用自動化。用戶在手動上料後由3套機械傳動裝置來完成腐蝕、清洗等工藝過程

，減少了人工幹預，具有自動化程度高，運行成本低
，生產效率高
、性能穩定、安全可靠等特點。

   在太陽能電池生產工藝中，幹燥是控製成品率
、降低碎片率的關鍵步驟。在現代電池生產工藝中，主要采用烘幹加熱結合旋轉甩幹的方式
，其技術關鍵體現在烘幹效果
、碎片率、運行成本等方麵。45所開發的LXS-800型立式旋轉衝洗甩幹機，在目前各主要太陽能電池生產線(南京中電
、江蘇林洋、保定天威等)上都得到了用戶的肯定。

   結合太陽能電池工藝中的印刷工藝和國內工藝線中試驗線和中小型生產線的要求，45所研製了半自動印刷設備——— WY-159型精密網版印刷機、WY-178型自動精密網版印刷機和WY-216型精密網版印刷機，設備采用手動上下料，自動完成太陽能電池片生產過程中正麵金屬電極、背接觸電極、背鑽等的絲網印刷
，也適用於厚膜電路、印刷電路板、液晶顯示器、表麵貼裝等電子元器件的高精密圖形印刷。

   隨著太陽能電池行業的不斷發展，45所suo將jiang繼ji續xu發fa揮hui研yan究jiu所suo在zai研yan發fa方fang麵mian的de優you勢shi，積ji極ji跟gen蹤zong生sheng產chan工gong藝yi的de發fa展zhan
，不bu斷duan改gai進jin和he提ti高gao設she備bei的de工gong藝yi適shi應ying性xing，以yi適shi應ying市shi場chang的de發fa展zhan及ji工gong藝yi的de要yao求qiu。

   相關鏈接

   45所科技研發取得的成績

   1975年 研製成功我國首台精縮照相機，獲國家科技進步一等獎。
   1978年 研製成功我國首台圖形發生器。
   1984年 研製成功我國首台分步光刻機，並獲得電子工業科技進步一等獎。
   1993年 研製成功我國首台雙麵光刻機，並獲得國家級新產品獎，電子工業科技進步三等獎。
   1997年 研製成功我國首台超低溫陣列探針測試台，獲電子工業科技進步二等獎。
   1997年 研製成功我國首台全自動探針測試台。
   2005年 承擔的國家重點科研項目“SB-601型雙麵光刻機”通過了設計定型和驗收
，該設備是國內第一台實用化的6英寸雙麵光刻機，在國內處於領先水平。
   2005年 金剛石內圓刀片鍍製成型裝置技術、旋轉衝洗設備專用無刷電機驅動裝置、油墨打印頭三項專利獲全國第十五屆發明展銀獎。
   2005年 8英寸晶片減薄機通過國家鑒定
，該設備進給分辨率可達0.1μm，具有世界先進水平，在此基礎上減薄出60μm的片子為國內首創。