阿爾卑斯電氣推出業界最小的壓電式MEMS壓力傳感器
http://kadhoai.com.cn 2026-04-27 06:59:37 來源:傳感器資訊網
阿爾卑斯電氣推出了業界最小的壓電式MEMS壓力傳感器。尺寸方麵,壓力傳感器單個元件的小型型號為2.5mm×2.5mm×0.7mm。內置放大器的型號為3.5mm×3.5mm×1.0mm。主要用於檢測氣壓及高度等絕對壓力。
壓電式MEMSyalichuanganqikeqingsongshixianxiaoxinghuadeyuanyinshi,kezhijiejianggemodewanquliangdangzuoyadiandianzuyuanjiandedianzubianhualaibuhuo,congershixianjiandandeyuanjianjiegou。lingwai,tongguocaiyongbomogongyijishu、微細加工技術及封裝技術,也可減小傳感器元件尺寸,使其達到業界最小。
yalijiancedeyuanliruxia。laiziwaibudeyalihuishiyalichuanganqidegemowanqu。ruguogemowanqu,zaigemoshangxingchengdeyadiandianzuyuanjianjiuhuibianxing。zheyangyilai,jiukeyijiangbianxingchanshengdedianzubianhuazuoweidianyaxinhaoduquchulai。
阿爾卑斯電氣表示,通過采用以下3項技術,減小了壓力傳感器性能的不穩定性。這3項技術分別為,通過優化蝕刻條件,開發出了可形成穩定腔體(Cavity)結構的技術;實現了可減小外應力影響的Si-Si密封接合;采用了對溫度變化適應性強的陶瓷材料。
阿爾卑斯電氣將在08年9月30日~10月4日於幕張Messe國際會展中心舉辦的“CEATEC JAPAN 2008”上展出此次的MEMS壓力傳感器。