東dong京jing大da學xue研yan究jiu生sheng院yuan情qing報bao理li工gong學xue係xi研yan究jiu科ke教jiao授shou下xia山shan勲勲的de研yan究jiu小xiao組zu開kai發fa成cheng功gong了le可ke安an裝zhuang在zai蜻qing蜓ting等deng昆kun蟲chong的de翅chi膀pang上shang，可ke分fen析xi翅chi膀pang動dong作zuo的de微wei型xing風feng速su傳chuan感gan器qi，並bing在zaiMEMS國際學會“MEMS2008”上結合現場演示進行了發表。  
　　該小組開發的微型風速傳感器尺寸約為3mm見方
，厚度約為1mm。在3mm見方的芯片上配備了2個傳感器，每個傳感器的尺寸約為1.5mm×3mm。  
　　下山研究小組在開發MEMS的de同tong時shi，還hai研yan究jiu昆kun蟲chong的de動dong作zuo。這zhe是shi受shou原yuan東dong京jing大da學xue工gong學xue係xi機ji械xie情qing報bao工gong學xue專zhuan業ye教jiao授shou三san浦pu宏hong文wen曾zeng在zai該gai研yan究jiu室shi研yan究jiu昆kun蟲chong活huo動dong的de影ying響xiang。此ci次ci傳chuan感gan器qi的de開kai發fa目mu的de是shi將jiangMEMS技術應用於昆蟲的動作解析中。  
　　傳感器采用在帶電極的SOI底板上形成長約0.5mm、厚1μm以下的懸臂梁（懸臂彈簧）yadiandianzudegouzao。yadiandianzucaiyongguibandaoti
，dangfengchuixiangxuanbi，xuanbichanshengyingbianshi，zheyiyingbianhuishidianzufashengbianhua
，zheyangjiuhuidedaobianxingdeshuzhi，jinerhuodefengdeqiangduzhi。xuanbibufendezhongliangjinwei0.1μg。  
　　傳感器的性能方麵，已確認可實現此前的目標——測量-2m/s～2m/s的風速。此前曾擔心把傳感器安裝到1秒內上下振動數次的翅膀上，懸臂會因為翅膀的加速度而產生噪音。而此次也把其影響減小到了測定值的3～10％（標準5%），已確認實際應用時沒有問題。“傳感器的共振（固有）頻率為10Hz以上，（對於數Hz的翅膀振動頻率而言）基本不受影響”。  
　　昆蟲和MEMS成為課題之一  
　　此次的MEMS 2008上，除上述成果外
，還有幾件關於在昆蟲研究中應用MEMS的研究成果發布。尤其引人注目的發布是，在銅花金龜子和蛾的神經上安裝電極、類似遙控玩具那樣進行操控的技術。  
　　美國國防部研究機構“國防高級研究計劃局（DARPA）”07年公布了昆蟲的準機器人計劃“Hybrid Insect MEMS（HI-MEMS）”。此次關於銅花金龜子和蛾的研究也得到了DARPA的援助。