國內首台具有世界領先水平、擁有完全自主知識產權的直寫式光刻機昨日在合肥麵世
，標誌著我國亞微米級光刻機完全依賴進口的局麵將被打破。 

科研人員展示一張刻有電子芯片電路圖的成品晶元

科研人員通過投影儀介紹國內首台自主知識產權光刻機

科研人員操作國內首台自主知識產權光刻機

　  光guang刻ke機ji是shi生sheng產chan電dian子zi芯xin片pian的de最zui關guan鍵jian設she備bei之zhi一yi
，電dian子zi芯xin片pian內nei的de電dian路lu圖tu案an都dou是shi由you光guang刻ke機ji產chan生sheng的de。中zhong國guo是shi全quan球qiu集ji成cheng電dian路lu的de最zui大da消xiao耗hao國guo
，據ju統tong計ji所suo用yong集ji成cheng電dian路lu占zhan全quan球qiu的de24%以上
，但是國產集成電路國內市場自給率卻少於10%
，因此，光刻機被國家“十一五”fazhanguihuamingquedingyiweizhongdianzhizaozhuangbei。julejie
，hefeishengchandezhixieshiguangkejifenbianlvdadaoyaweimiji，yumuqianguojishangtongleichanpinxiangbi，yijingdadaoleshijielingxianshuiping,可應用於半導體行業、生物、醫藥、光電、太陽能電池、新能源及薄膜電路等不同領域。開發該產品的芯碩半導體(中國)有限公司將進行大規模生產
，一期工程將於明年9月份正式完工。