如何發展中國半導體設備業的討論一直是近年業界的熱點之一，完全自主技術是值得自豪的，與外資、外來技術合作的“借殼孵蛋”的方式也不失為一個良策。在日前召開的“北京微電子國際研討會”半導體裝備及零部件專場研討中
，如何看待本土化（Localization）和全球化（Globalization）成為大家關注的話題。

　　半導體產業鏈是一個高度國際化的合作過程
，東電電子（上海）有限公司（TEL）總裁陳捷以東電的經驗談到了日本半導體裝備業的成功之路。他介紹說，上世紀70年代末至80niandai，ribenbentudebandaotichanyekaishixunsuzoushangshijiewutai，zhengcedefuchihebentuzhizaochangduiguochanshebeidezhichi
，shideribenbandaotishebeishangjiecijihuikuaisufazhanqilai。TEL的(de)成(cheng)功(gong)一(yi)方(fang)麵(mian)得(de)益(yi)於(yu)技(ji)術(shu)的(de)研(yan)發(fa)創(chuang)新(xin)，另(ling)一(yi)方(fang)麵(mian)也(ye)來(lai)自(zi)全(quan)球(qiu)半(ban)導(dao)體(ti)的(de)平(ping)穩(wen)環(huan)境(jing)。如(ru)今(jin)，對(dui)於(yu)中(zhong)國(guo)市(shi)場(chang)，產(chan)業(ye)處(chu)於(yu)高(gao)速(su)發(fa)展(zhan)階(jie)段(duan)，技(ji)術(shu)又(you)將(jiang)達(da)到(dao)摩(mo)爾(er)極(ji)限(xian)

，本(ben)土(tu)廠(chang)商(shang)此(ci)時(shi)進(jin)入(ru)設(she)備(bei)材(cai)料(liao)領(ling)域(yu)，將(jiang)麵(mian)臨(lin)諸(zhu)多(duo)競(jing)爭(zheng)和(he)挑(tiao)戰(zhan)。半(ban)導(dao)體(ti)業(ye)大(da)者(zhe)恒(heng)強(qiang)的(de)局(ju)麵(mian)很(hen)難(nan)改(gai)變(bian)，而(er)晶(jing)圓(yuan)廠(chang)從(cong)8寸轉入12寸，產能迅速提高導致設備需求下降
，同時8寸折舊設備的釋放也加大了新設備進入的難度。

　　由於技術的管製、guanjiangongyishebeidejiagebiandegengjiagaoanghebentushichangdejudashangji，zhongguoxuyaofazhanzijideshebeichanye，laiwanshanbentubandaotichanyelian。chenjiezhichu，bentushebeixuyaoyoukaifangdexionghuaiqujienaguowaixianjinshebeishang
，guochanhuabushixiayide，bentuhuabudengyu100%的de中zhong國guo製zhi造zao和he技ji術shu開kai發fa

，能neng夠gou自zi主zhu創chuang新xin是shi很hen好hao的de，而er對dui於yu先xian進jin技ji術shu的de吸xi收shou和he借jie鑒jian也ye很hen重zhong要yao。他ta認ren為wei，本ben土tu廠chang商shang可ke以yi通tong過guo與yu國guo外wai領ling先xian公gong司si合he資zi的de渠qu道dao獲huo得de技ji術shu與yu品pin牌pai效xiao應ying，從cong而er快kuai速su提ti升sheng競jing爭zheng力li，以yi確que保bao在zai進jin入ru設she備bei業ye的de初chu期qi就jiu可ke以yi達da到dao一yi定ding的de成cheng功gong，而er關guan鍵jian的de零ling組zu件jian將jiang會hui是shi比bi較jiao好hao的de切qie入ru點dian
；或者在行業低穀之時，收購一些技術Know-how和自主IP的國外公司
，轉到中國製造，從而躍上技術高點；或者走單機台多用途的mini-line等道路，避開與其他品牌競爭。同時
，他指出，“18號文件”的出台已經使IC和FPD產業從中獲利，政府需要製定更穩固和連貫的政策
，扶持本土業者，IP保護也將是一個重點。陳捷認為，“以(yi)全(quan)球(qiu)化(hua)的(de)觀(guan)念(nian)去(qu)吸(xi)收(shou)和(he)學(xue)習(xi)領(ling)先(xian)地(di)區(qu)和(he)國(guo)家(jia)的(de)半(ban)導(dao)體(ti)成(cheng)功(gong)經(jing)驗(yan)和(he)技(ji)術(shu)，吸(xi)引(yin)更(geng)多(duo)全(quan)球(qiu)的(de)行(xing)業(ye)領(ling)先(xian)者(zhe)植(zhi)根(gen)於(yu)中(zhong)國(guo)半(ban)導(dao)體(ti)業(ye)
，使(shi)之(zhi)製(zhi)造(zao)和(he)研(yan)發(fa)能(neng)力(li)轉(zhuan)移(yi)至(zhi)中(zhong)國(guo)，加(jia)強(qiang)技(ji)術(shu)互(hu)動(dong)和(he)合(he)作(zuo)，本(ben)土(tu)化(hua)和(he)全(quan)球(qiu)化(hua)應(ying)該(gai)很(hen)好(hao)地(di)融(rong)合(he)。”[page_break]

　　低成本和市場驅動全球IC製造業向中國轉移，同時帶動了裝備產業和技術的轉移
，目前國內主流IC裝zhuang備bei領ling域yu的de能neng力li大da為wei增zeng強qiang，建jian立li了le配pei套tao的de高gao水shui平ping研yan發fa平ping台tai和he團tuan隊dui。中zhong國guo科ke學xue院yuan微wei電dian子zi研yan究jiu所suo所suo長chang葉ye甜tian春chun指zhi出chu，從cong自zi主zhu創chuang新xin能neng力li的de角jiao度du看kan，核he心xin技ji術shu和he關guan鍵jian部bu件jian是shi創chuang新xin體ti係xi的de基ji礎chu，目mu前qian國guo內nei有you不bu少shao海hai外wai團tuan隊dui創chuang業ye企qi業ye
，他ta們men的de核he心xin團tuan隊dui來lai自zi專zhuan業ye公gong司si，掌zhang握wo最zui新xin技ji術shu與yu理li念nian

，具ju有you很hen強qiang的de行xing業ye背bei景jing和he產chan品pin經jing驗yan，這zhe些xie公gong司si成cheng為wei了le中zhong國guo本ben土tu裝zhuang備bei業ye的de萌meng芽ya之zhi一yi，也ye為wei國guo內nei企qi業ye的de發fa展zhan提ti供gong了le很hen好hao的de借jie鑒jian模mo式shi。這zhe種zhong模mo式shi在zai國guo內nei半ban導dao體ti設she備bei業ye中zhong比bi較jiao盛sheng行xing，並bing且qie取qu得de了le不bu少shao突tu破po性xing進jin展zhan
，同tong時shi設she備bei工gong藝yi也ye延yan伸shen到dao了le芯xin片pian製zhi造zao的de一yi些xie核he心xin製zhi程cheng中zhong，例li如ru離li子zi注zhu入ru
、CVD甚至光刻機。他說道，“海外團隊、國企改造、一流的平台和產業運作的結合，是一個迅速提高國內企業水平、層次和實力的快捷有效途徑
，如何利用全球化的資源實現本土化的製造是一個很有意義的課題。”

　　作為本土供應商代表，中微半導體設備公司材料運營總監VicMeksavan認為，“本土化”就是設備和零部件的製造在中國完成
，而這隻是本土化的第一步；完wan成cheng中zhong國guo製zhi造zao更geng需xu要yao優you良liang的de品pin質zhi和he過guo硬ying的de技ji術shu
，其qi中zhong本ben土tu零ling部bu件jian產chan業ye的de發fa展zhan具ju有you深shen遠yuan的de意yi義yi。回hui顧gu中zhong國guo台tai灣wan地di區qu半ban導dao體ti設she備bei業ye的de發fa展zhan，就jiu是shi在zai研yan發fa先xian進jin工gong藝yi設she備bei的de同tong時shi抓zhua住zhu基ji礎chu的de零ling部bu件jian產chan業ye。半ban導dao體ti供gong應ying鏈lian是shi一yi個ge全quan球qiu性xing的de供gong應ying鏈lian，設she備bei公gong司si必bi須xu從cong國guo內nei外wai第di一yi流liu的de供gong應ying商shang采cai購gou最zui高gao質zhi量liang的de零ling部bu件jian來lai保bao證zheng產chan品pin性xing能neng。Viczhichu，chanpinzhilianghewendingxingchengweilingbujianbentuhuadeguanjian
，zhongguotebieshichangsanjiaodiquyoukaifagaozhilianggongyingshangdechongfentiaojian，zhongweizaiguoneicaigoudegaozhilianglingbujiandebiliyezaibuduanzengchangzhong。tabiaoshi，renheguojiadoubukenengshixian100%的純本土化製造

，加強業界協作將有利於提高效率和獲益能力。

　　目(mu)前(qian)可(ke)以(yi)看(kan)到(dao)
，本(ben)土(tu)設(she)備(bei)商(shang)在(zai)技(ji)術(shu)上(shang)已(yi)經(jing)達(da)到(dao)一(yi)定(ding)水(shui)平(ping)，但(dan)是(shi)如(ru)何(he)把(ba)技(ji)術(shu)轉(zhuan)化(hua)為(wei)市(shi)場(chang)，進(jin)而(er)形(xing)成(cheng)像(xiang)領(ling)先(xian)國(guo)家(jia)那(na)樣(yang)的(de)集(ji)團(tuan)優(you)勢(shi)，還(hai)是(shi)值(zhi)得(de)探(tan)討(tao)的(de)問(wen)題(ti)。主(zhu)流(liu)的(de)半(ban)導(dao)體(ti)製(zhi)造(zao)線(xian)較(jiao)難(nan)看(kan)到(dao)本(ben)土(tu)設(she)備(bei)商(shang)的(de)身(shen)影(ying)，如(ru)何(he)讓(rang)他(ta)們(men)認(ren)同(tong)並(bing)接(jie)納(na)
，我(wo)們(men)還(hai)有(you)很(hen)長(chang)的(de)路(lu)要(yao)走(zou)。