近日從吉林省科技廳了解到
，由長春光機所承擔的應用基礎研究項目——“高精度納米分辨率線位移測量技術研究”
，日(ri)前(qian)在(zai)長(chang)春(chun)通(tong)過(guo)專(zhuan)家(jia)鑒(jian)定(ding)。鑒(jian)定(ding)委(wei)員(yuan)會(hui)專(zhuan)家(jia)一(yi)致(zhi)認(ren)為(wei)
，該(gai)項(xiang)研(yan)究(jiu)所(suo)製(zhi)成(cheng)的(de)高(gao)精(jing)度(du)納(na)米(mi)測(ce)量(liang)傳(chuan)感(gan)器(qi)樣(yang)機(ji)達(da)到(dao)四(si)倍(bei)光(guang)學(xue)倍(bei)頻(pin)，技(ji)術(shu)指(zhi)標(biao)達(da)到(dao)國(guo)際(ji)先(xian)進(jin)水(shui)平(ping)。 

   據介紹
，線位移尺寸測量是精密加工製造業的基礎之一。隨著被加工對象加工精度的提高，位移測量儀器必須具有高精度、高分辨率
、大量程、體積小
、重量輕等特點。市場上的光柵尺
、感應同步器、磁柵等傳感器生產廠家眾多，這些廠家生產的傳感器結構簡單、價格低
，但分辨率僅在1mm~0.5mm
，遠yuan不bu能neng滿man足zu要yao求qiu。此ci外wai，少shao數shu加jia工gong中zhong心xin使shi用yong的de雙shuang頻pin激ji光guang幹gan涉she儀yi多duo是shi進jin口kou或huo僅jin有you少shao數shu國guo內nei科ke研yan單dan位wei單dan件jian研yan製zhi，雖sui然ran其qi精jing度du高gao，分fen辨bian率lv可ke達da0.01mm
，但也有結構複雜
、體積龐大、價格高

、對環境要求苛刻、穩定性較差等缺點。 

   據(ju)悉(xi)，本(ben)項(xiang)目(mu)研(yan)究(jiu)了(le)應(ying)用(yong)衍(yan)射(she)光(guang)幹(gan)涉(she)原(yuan)理(li)進(jin)行(xing)線(xian)位(wei)移(yi)測(ce)量(liang)的(de)理(li)論(lun)計(ji)算(suan)及(ji)光(guang)路(lu)設(she)計(ji)等(deng)各(ge)種(zhong)技(ji)術(shu)問(wen)題(ti)
，采(cai)用(yong)衍(yan)射(she)光(guang)幹(gan)涉(she)原(yuan)理(li)實(shi)現(xian)了(le)高(gao)密(mi)度(du)光(guang)柵(zha)的(de)位(wei)移(yi)信(xin)號(hao)提(ti)取(qu)；實現了光學四細分
，使光柵原始信號分辨率達到0.6μm
；caiyongguangxuepianzhenqijianduiguangganshetiaowenjinxingkongjianyixiang
，dedaojuyouwendingweixiangchadesiluguangdianxinhao，chafenchuliyizhiguangdianxinhaodezhiliudianpingpiaoyi，zengdalexinhaofuzhi
，tigaoleceliangwendingxing。