美國斯坦福大學日前披露了使用小型MEMS加速度傳感器，在耳朵中嵌入人工內耳的技術。在韓國漢城召開的MEMS技術國際學術會議“TRANSDUCERS’05”上進行了技術發表。
     此(ci)次(ci)發(fa)表(biao)的(de)是(shi)通(tong)過(guo)被(bei)稱(cheng)為(wei)耳(er)小(xiao)骨(gu)的(de)骨(gu)頭(tou)，將(jiang)鼓(gu)膜(mo)振(zhen)動(dong)傳(chuan)導(dao)給(gei)加(jia)速(su)度(du)傳(chuan)感(gan)器(qi)來(lai)捕(bu)捉(zhuo)聲(sheng)音(yin)的(de)技(ji)術(shu)。目(mu)前(qian)一(yi)般(ban)采(cai)用(yong)在(zai)耳(er)外(wai)裝(zhuang)麥(mai)克(ke)的(de)方(fang)法(fa)，但(dan)這(zhe)種(zhong)方(fang)法(fa)捕(bu)捉(zhuo)不(bu)到(dao)風(feng)嘯(xiao)等(deng)人(ren)耳(er)聽(ting)不(bu)到(dao)的(de)聲(sheng)音(yin)。而(er)要(yao)想(xiang)把(ba)麥(mai)克(ke)置(zhi)入(ru)耳(er)中(zhong)

，為(wei)了(le)避(bi)免(mian)水(shui)分(fen)和(he)灰(hui)塵(chen)等(deng)進(jin)入(ru)麥(mai)克(ke)內(nei)部(bu)
，就(jiu)必(bi)須(xu)將(jiang)麥(mai)克(ke)密(mi)封(feng)起(qi)來(lai)。但(dan)業(ye)界(jie)認(ren)為(wei)將(jiang)麥(mai)克(ke)密(mi)封(feng)起(qi)來(lai)以(yi)後(hou)
，存(cun)在(zai)靈(ling)敏(min)度(du)下(xia)降(jiang)的(de)問(wen)題(ti)。此(ci)次(ci)則(ze)采(cai)用(yong)了(le)利(li)用(yong)加(jia)速(su)度(du)傳(chuan)感(gan)器(qi)而(er)不(bu)是(shi)麥(mai)克(ke)得(de)到(dao)與(yu)聲(sheng)壓(ya)相(xiang)應(ying)的(de)振(zhen)動(dong)的(de)方(fang)法(fa)。
     加速度傳感器采用密閉式封裝，尺寸僅387μm×387μm×230μm。重量為100μg。這樣的尺寸對於構成耳小骨的3塊骨頭顯得非常小，能夠裝在骨頭上。另外，相對於耳小骨近50mg的重量也非常輕，即使裝在這塊骨頭上，對鼓膜傳導的振動也不會產生太大的影響。
     實驗得知，100～10kHz頻帶的60至120dB聲壓對於耳小骨就相當於40μ～3g（1g為9.8m/秒2）的加速度。此次使用的加速度傳感器分辨率為0.47mg/（Hz的平方根）
，因此聽不到頻率在100Hz以下的聲波。
     此次開發的3軸加速度傳感器采用由橫梁支撐重量的結構
，在橫梁的側麵裝有壓電電阻元件。在上麵塗覆厚20μm的epi-poly膜後進行封裝。