近年來,我國電力電子器件的發展十分迅速,已由早期的小功率、半控、低頻器件發展到現在的超大功率、全控、高頻器件。目前國內生產的電力電子器件仍以晶閘管為主,中低檔的產品業已成熟,並有相當的批量出口。
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今後一個時期,電力電子行業技術工作的重點是,下大力進行市場前景看好、能代表當今技術水平的四大類電力電子器件的研究開發,突破關鍵技術,加快技術創新步伐。
1.加速開發高檔大功率晶閘管、快速晶閘管、雙向晶閘管、高頻晶閘管、逆導晶閘管等高新技術產品。突破高壓器件設計、高壓擴散技術、表麵造型保護技術和全壓接等關鍵技術。
2.加速開發IGCT產品。下大力解決IGCT的設計、均勻擴散技術、透明發射極製造技術、精密光刻挖槽技術、表麵造型及保護技術、封裝技術和硬門極觸發設計及製造技術。
3.加速開發技術難度大、工藝裝備複雜的IGBT產品。將大規模集成電路製造技術和大功率電力電子技術緊密結合在一起。
4.加速開發大功率快速軟恢複二極管。盡快解決具有自建電場的雜質濃度分布擴散技術、電場截止基區厚度及雜質分布控製技術等難題。