台灣清華大學開發采用CMOS工藝的觸覺傳感器
http://kadhoai.com.cn 2026-04-10 09:12:29 《中華工控網》原創
台灣國立清華大學開發成功了幾乎所有工序均采用CMOS工藝的觸覺傳感器。
此次開發的傳感器中,手觸部分由帶保護膜的金屬薄膜構成,這層薄膜與下麵的金屬薄膜構成電容器。手觸後,金屬薄膜間的距離變小、電容器容量發生變化。通過這種變化實現觸覺的感知。
為了實現CMOSgongyixiadekaifa,xishengcengshiyonglejinshu。zheyangyilai,jinshubomojiuhuizaixishengcengkeshijieduanbeiyitongkeshichulidiao,yinciyuxianduizuizhongsuoxuyaodejinshubomojinxingledunhuachuli,yiquebaobubeikeshichuli。shizhipinshiyongletaijidiande2層聚合物4層金屬的0.35μm工藝。