化學機械研磨 (CMP) 用於研磨半導體晶圓的表麵並去除多餘的材料。CMP 工藝中使用的研磨液既具有機械特性（研磨）
，又具有化學特性。如果研磨液成分不一致，晶圓質量就會受到影響。維薩拉的原位在線折光儀特別適合用於研磨液監測、控製批次間變化、稀釋和混合，以保障晶圓質量和產量。

　　研磨液一致性至關重要

　　研磨液密度和成分是 CMP gongyizhiliangdeguanjiancanshu，danyoubuxiangshizhongshiyongxiangtongdeyanmoyehunhewunamejiandan。zhizaoshangyinongsuoxingshijiaofuyanmoye，bingqiebutongpicideyanmoyekenenghuiyousuobutong。bandaotizhizaochangyongqulizishuixishinongsuoyanmoye
，bingtianjiayanghuaji，tongchangshiguoyanghuaqing (H2O2)。這需要在 CMP 工藝之前完成，因為 H2O2 隨著時間的推移會降解為水和氧氣。

　　這zhe種zhong降jiang解jie有you一yi個ge有you限xian的de時shi間jian窗chuang口kou，在zai此ci期qi間jian可ke以yi保bao持chi一yi致zhi的de表biao麵mian研yan磨mo質zhi量liang並bing最zui大da限xian度du地di減jian少shao晶jing圓yuan缺que陷xian和he廢fei品pin。為wei了le確que保bao晶jing圓yuan質zhi量liang，晶jing圓yuan廠chang需xu要yao能neng夠gou全quan天tian連lian續xu監jian測ce研yan磨mo液ye成cheng分fen。原yuan位wei在zai線xian折zhe光guang儀yi提ti供gong了le一yi種zhong簡jian單dan且qie經jing濟ji高gao效xiao的de方fang法fa來lai執zhi行xing此ci監jian測ce。折zhe光guang儀yi可ke以yi安an裝zhuang在zai以yi下xia位wei置zhi：

　　在供給管線上監測進入的研磨液和 H2O2
，並確定研磨液稀釋目標濃度水平。

　　在研磨液混合罐中實時控製 H2O2 的混合，以確保正確的濃度和混合時間。

　　在 CMP 工具中
，確保研磨液成分在與晶圓接觸之前處於設定的限度內。

　　通過在線折射率 (RI) 測量獲得實時結果

　　在線折光儀的作用就是測量研磨液的 RI。每種混合物都有獨特的成分
，因此也有獨特的 RI，keyishiyongzheguangyijinxingyanzhenghebiaozheng。shiyongzaixianzheguangyijinxingshishiceliang，birenhelisancaiyangfangfadounenggengzhunquedifanyingyanmoyechengfendebianhua。ciwai
，celiangjihuwupiaoyi，buyilaiyuliusu，bingqiezhunquedubushouyanmoyezhongqipaodeyingxiang。

　　一旦根據特定研磨液的折射率和溫度特性進行校準，RI 測ce量liang在zai用yong於yu測ce量liang諸zhu如ru銅tong和he鎢wu研yan磨mo液ye時shi可ke以yi實shi現xian出chu色se的de可ke重zhong複fu性xing。在zai線xian測ce量liang優you於yu基ji於yu實shi驗yan室shi的de方fang法fa，因yin為wei它ta們men消xiao除chu了le采cai樣yang和he樣yang本ben處chu理li中zhong引yin入ru的de任ren何he不bu確que定ding性xing
，例li如ru H2O2 變質或溫度變化。

　　維薩拉 PR-33-S 半導體行業折光儀

　　維薩拉 PR-33-S 半(ban)導(dao)體(ti)行(xing)業(ye)折(zhe)光(guang)儀(yi)專(zhuan)為(wei)半(ban)導(dao)體(ti)製(zhi)造(zao)環(huan)境(jing)中(zhong)的(de)在(zai)線(xian)實(shi)時(shi)測(ce)量(liang)而(er)設(she)計(ji)。它(ta)體(ti)積(ji)小(xiao)，采(cai)用(yong)不(bu)含(han)金(jin)屬(shu)的(de)特(te)氟(fu)龍(long)和(he)藍(lan)寶(bao)石(shi)接(jie)液(ye)部(bu)件(jian)和(he)表(biao)麵(mian)，非(fei)常(chang)適(shi)合(he)測(ce)量(liang)研(yan)磨(mo)液(ye)和(he)刺(ci)激(ji)性(xing)化(hua)學(xue)物(wu)質(zhi)。堅(jian)固(gu)的(de)設(she)計(ji)保(bao)證(zheng)了(le)長(chang)期(qi)穩(wen)定(ding)性(xing)和(he)長(chang)使(shi)用(yong)壽(shou)命(ming)，內(nei)置(zhi)的(de)診(zhen)斷(duan)功(gong)能(neng)可(ke)即(ji)時(shi)概(gai)覽(lan)測(ce)量(liang)性(xing)能(neng)。

　　PR-33-S 提供直接研磨液密度測量，集成的溫度傳感器確保高度精確的 RI 測(ce)量(liang)，可(ke)承(cheng)受(shou)工(gong)藝(yi)振(zhen)動(dong)而(er)不(bu)會(hui)產(chan)生(sheng)測(ce)量(liang)誤(wu)差(cha)。由(you)於(yu)獨(du)特(te)的(de)光(guang)學(xue)測(ce)量(liang)原(yuan)理(li)和(he)堅(jian)固(gu)的(de)設(she)計(ji)，該(gai)設(she)備(bei)不(bu)會(hui)出(chu)現(xian)測(ce)量(liang)漂(piao)移(yi)，並(bing)且(qie)幾(ji)乎(hu)無(wu)需(xu)維(wei)護(hu)。設(she)備(bei)不(bu)需(xu)要(yao)耗(hao)材(cai)，也(ye)不(bu)產(chan)生(sheng)化(hua)學(xue)廢(fei)物(wu)
，為(wei)實(shi)驗(yan)室(shi)采(cai)樣(yang)和(he)滴(di)定(ding)提(ti)供(gong)了(le)一(yi)種(zhong)經(jing)濟(ji)高(gao)效(xiao)、kekaoqiekechixudetidaifangan。yanjiuzhengming，weisalazheguangyideceliangjieguoyucankaodidingdejieguoyoujihaodeyizhixing，bingqienengshishitigongjieguo，keyizhijiezaigongyizhongshiyongbingqiekezhongfu。

　　快速、準確和可靠

　　在線 RI 測量已成為快速、準確、實時研磨液監測的行業標準。折光儀是一種安全、經(jing)濟(ji)高(gao)效(xiao)且(qie)維(wei)護(hu)成(cheng)本(ben)低(di)的(de)監(jian)測(ce)研(yan)磨(mo)液(ye)密(mi)度(du)和(he)成(cheng)分(fen)的(de)方(fang)法(fa)。它(ta)們(men)也(ye)是(shi)值(zhi)得(de)信(xin)賴(lai)的(de)晶(jing)圓(yuan)廠(chang)檢(jian)測(ce)研(yan)磨(mo)液(ye)混(hun)合(he)和(he)分(fen)配(pei)係(xi)統(tong)故(gu)障(zhang)的(de)理(li)想(xiang)之(zhi)選(xuan)。通(tong)過(guo)驗(yan)證(zheng)研(yan)磨(mo)液(ye)是(shi)否(fou)始(shi)終(zhong)符(fu)合(he)要(yao)求(qiu)，折(zhe)光(guang)儀(yi)可(ke)幫(bang)助(zhu)晶(jing)圓(yuan)廠(chang)確(que)保(bao)晶(jing)圓(yuan)質(zhi)量(liang)和(he)產(chan)量(liang)
，同(tong)時(shi)減(jian)少(shao)浪(lang)費(fei)。